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洁净室空调系统的设计 By Raymond K. Schneider, P.E. 美国采暖、制冷和空调工程师协会 Raymond K. Schneider, P.E., 是格林维尔一位资深洁净室顾问实用技术，他也是克莱姆森克莱姆森大学建设科学与管理副教授 该洁净室空调系统的目的是提供足够数量的气流和清洁，以支持评级。空气是引进的方式，以防止积水的地方粒子可积累进入洁净室。空气也必须条件，以满足洁净室的温度和湿度的要求。此外，足以弥补空调引入空气必须保持指定的正压。 . 表1：新的ISO洁净室的分类是在左侧。在美国联邦标准209E英制和公制名称分类也显示。本指引列表示的三种这篇文章的目的描述类别。请注意，100级可被视为一个严谨的洁净室当它是单向流洁净室和中间时，非单向的非关键应用流程设计的设计。右侧列提供每分钟平均客房速度英尺严格的洁净室每小时换气和中级及洁净室气流较宽松的准则。 过滤空气通过洁净室的设计流量是最严格的洁净室，并作为清洁跌幅的要求降低。平均风速在房间内或作为每小时换气，通常会指定气流。平均房间空气速度的方法通常完整筛选天花板安装时使用。多年来，值为 90 fpm (0.46 m/s) ± 20%已用于指定最清洁的洁净室中的气流。这基于设计为支持在六十年代的太空计划生成的最早的洁净室和七十年代。 近年来，公司已尝试用较低的速度，而找到了 70 至 100 fpm （0.35 到 0.51 m/s） ± 20%不等的气流速度规格可能成功，取决于活动和设备的房间内。较高的值用于在更高级别的人员活动或粒子生成过程设备的房间。较低的值用更少，更多的定居，人事室和/或设备潜力较少颗粒。 通常情况下，洁净室的丰富经验与知识客户指定低端的速度范围。没有单一的值的平均速度或空气变化率为给定的洁净室分类行业所接受。此语句唯一的例外是药品无菌灌装领域 FDA 所指定的 90 ± 20 fpm (0.46 ± 0.10 m/s) 速度。 每小时规范的空气变化最常见的中间或宽松的洁净无尘室。中间的洁净室通常设有每小时换气介乎三十至 160，虽然不太严格的洁净室每小时有空气的变化率达 20。设计器中选择值根据他的经验和认识的粒子产生潜在的客户端的过程。 该研究所环境科学和技术建议实践 12 （IEST-CC-RP.012.1） 包括一系列的推荐的气流率为每个清洁类的表一样多最近发布 ISO 14644-1 四部分。表 (1) 列出了这些值。 过滤 许多年来，微电子产业带动了洁净室技术。效率更高的要求，有来自这和相关产业。如 99.99%和 99.999%的效率可从多家厂家，并已被证明是有效严格洁净室的应用程序中。 作为过滤测试仪器已经成熟和更小的粒子能更准确计算，测试数据表明，这两个ULPA高效过滤器的传递和比其他任何规模0.1至0.2微米范围内更多的粒子。事实上， 0.12 和 0.3 微米的颗粒大小以显示其额定的效率和更高的效率对较大和较小的粒子。”粒度期望的效率已经发现了一些设计师和过滤器制造商的青睐。 最严格和中级洁净室是采用在天花板中的过滤器。该过滤器可安装在专用的模块化的压力系统，有利于简化安装在洁净室天花板的组.它们也可以被安装在单个过滤器外壳，单独固体冲压”压力全会仍在使用。但是，现有的各种既提供更好的空气流速控制和更好的环境控制和模块化的方案已完全取代了“棒建 集成的过滤器/鼓风机风机过滤器单元或已投入广泛使用。在某些产品的过滤器可更换。在其他国家，整个模块被丢弃在其生命的尽头。他们来了旨在适应一倒“T”型格系统的各种尺寸。不同的电机电压可支持多种电器设计方案。一些复杂的控制计划已经制订监测各风机运行过滤器，记录能源消耗，信号电机故障，风机过滤器控件的边缘，并改变不同的日常运作时间风扇转速。他们发现在所有级别的洁净室的应用。 对天花板安装过滤器的风速一般可高达130 fpm的（0.66米/秒）和低至50 fpm的（0.25米/秒）由系统的设计而定。由于系统支持的过滤器，如倒“T”型格，可能会占用多达20％的上限区，100fpm（0.51米/秒）过滤器的表面风速转换到80 fpm（0.41米/ s）的平均流速在洁净室工作表面。 安装高效/ ULPA过滤器直接在被驱动的愿望，以减少洁净室的天花板，如果不消除，除尘的表面，如管道系统内的过滤器之间的下游面和清洁房间。 HEPA过滤器的远程安装在应用中常见的，因为不那么严格的，可以通过管道造成粒子数的HEPA过滤器的下游，是作为可耐受量的比例很小。 例外的情况是在空调系统没有清洁度分类标准正在升级支持洁净室，目的在于确保每个联邦标准 209 或 ISO 标准 14644 清洁评级。 在这些应用中使用的高效微粒空气过滤器一般都很高速率过滤器，基于500 fp