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氮化锆的制备_表征和形成机制的研究.pdf
2008 年8月 吉林师范大学学报( 自然科学版) l . 3
第3 期 Journal of Jilin Normal University (Natural Science Edition) Aug. 2008
1 1 2
隋瑛锐, 肖 利 , 刘 波
( 1. 吉林师范大学 物理学院, 吉林 四平 136000; 2. 吉林大学 物理学院, 吉林长春 130021)
:h) BN N , Zr h ) BN Zr) N ,
CZrNx .X (XRD) X (XPS) .
CZrNx .
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:TG174.444 :A : 1000 1840 ( 2008) 03 0066 03
( ) .
1
, 5. 4 cm,
(Zr) N) 3. 0 cm. , 5~ 17 cm.
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3 4 3 4 6 g , 90 g.
, , 3
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[ 1] [ 2] [ 3]
Josephson , , , 99% ( h BN) ( 2. 27
, . 3
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Zr) N .
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ZrN 10 K ) , Ar , , Ar , 2~ 3 ,
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.
(Zr ) N) ,
80~ 100 V, 520
.
~ 650 / . ,
,
.
,
[ 4] [5] [6 8] , ,
, , ,
[ 9] .
. ,
. Rigaku D/max rA (12 kW,Cu KA1, K=
0. 15405 nm) X
,
, VG ESCALAB
, .
MarK ÒXPS ,
Zr BN ,
. MgK X ,
, A
.
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