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氮化锆的制备_表征和形成机制的研究.pdf

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2008 年8月 吉林师范大学学报( 自然科学版) l . 3 第3 期 Journal of Jilin Normal University (Natural Science Edition) Aug. 2008 1 1 2 隋瑛锐, 肖 利 , 刘 波 ( 1. 吉林师范大学 物理学院, 吉林 四平 136000; 2. 吉林大学 物理学院, 吉林长春 130021) :h) BN N , Zr h ) BN Zr) N , CZrNx .X (XRD) X (XPS) . CZrNx . : ; CZrNx ;X :TG174.444 :A : 1000 1840 ( 2008) 03 0066 03 ( ) . 1 , 5. 4 cm, (Zr) N) 3. 0 cm. , 5~ 17 cm. , : Zr ) N , ( ) 15B1 , ZrNo ) Zr N c ) Zr N . 3 4 3 4 6 g , 90 g. , , 3 99% 200 Zr ( 6.49 g/ cm ) [ 1] [ 2] [ 3] Josephson , , , 99% ( h BN) ( 2. 27 , . 3 g/ cm ) . Zr) N . , ( : , , ZrN 10 K ) , Ar , , Ar , 2~ 3 , , . , . (Zr ) N) , 80~ 100 V, 520 . ~ 650 / . , , . , [ 4] [5] [6 8] , , , , , [ 9] . . , . Rigaku D/max rA (12 kW,Cu KA1, K= 0. 15405 nm) X , , VG ESCALAB , . MarK ÒXPS , Zr BN , . MgK X , , A .

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