高温合金低压气相沉积渗铝工艺研究.pdfVIP

高温合金低压气相沉积渗铝工艺研究 张光业h2，张华1，张厚安1，尹何迟1，郭建亭2 (1．湖南科技大学机电工程学院，湖南湘潭411201； 2．中国科学院金属研究所，辽宁沈阳110016) [摘要]研究了活性元素Pd对高温合金K17表面上低压气相沉积(LPGD)渗铝工艺的影响。 结果表明，在合金表面预沉积Pd．20％Ni合金后，在950℃和1050℃渗铝制备铝化物涂层，与未经 过电镀处理的样品相比，其渗铝速度得到了提高，形成铝化物涂层的动力学在950℃时符合抛物线规 律，而在1050℃时则近似线性关系。“S”渗铝量对总渗铝量的比例不容忽视，在950℃时为33％左 右，和渗铝工艺有关，与样品预处理状态无关，提高渗铝温度，“s”渗铝比例提高。Pd元素加快了元素 的扩散速度，促进了涂层的生长。 [关键词] 高温合金；铝化物涂层；低压气相沉积渗铝 [中图分类号]TGl74．443[文献标识码]A 0前言 物涂层的主要方法有：固体粉末包埋渗铝、热浸渗 铝、料浆渗铝、气体渗铝、喷镀渗铝、电泳渗铝、电解 高温合金表面加防护涂层，特别是形成Al：o， 渗铝、快速电加热渗铝、化学气相沉积渗铝等旧’4J。 膜涂层体系，可大大提高合金的抗氧化性能。当涂 其中固体粉末包埋渗铝又被称为固体渗铝。渗铝 层长期暴露在氧化环境中时会发生性能退化，以致 时，将工件埋在粉末状的渗铝剂中，然后加热到 于最后失去高温防护作用。涂层退化是由于涂层 850～1 050℃，保温一定时间即可。渗铝剂一般由 中抗氧化性元素不断消耗的结果，涂层中的元素损 三部分组成：氧化铝是一种稀释填充剂，又兼有防 失有两个途径¨’2J：一是向外扩散氧化，生成表面 止金属粉末氧化黏结的作用；铝粉末或铁铝中间合 氧化膜；二是与基体合金的互扩散。当涂层中形成 金粉末是提供渗铝过程中铝原子的原料；卤化物是 氧化物元素的浓度下降很多时，这种氧化物不能继 渗铝过程中的一种活化剂。化学气相沉积渗铝是 续生长，涂层即失去保护作用。第一代Ni．Al防护 一种非接触扩散渗铝技术，又被称为气相渗铝。采 涂层由于表面生成NiAl相，而NiAl相涂层脆性 用气相渗铝技术时，确定成分的气体可以预先在渗 大，易开裂，高温时Al原子向基体扩散快，寿命较 铝炉外制备，然后导人渗铝炉内的腔体中，通过分 短，而且抗热腐蚀性能不够，因此发展了第二代防 解反应、沉积或者与工件表面发生反应形成铝化物 护涂层多元铝化物涂层。但第二代涂层仍有以下 涂层。为了提高涂层的高温防护能力，活性元素如 不足：两相涂层是亚稳的、对热机械疲劳裂纹敏感、 稀土元素、贵金属等被引入涂层的制备过程，以提 在循环氧化时折皱、硬而脆易剥落。用向外生长的 高涂层的铝含量，降低形成非保护性氧化物元素的 单相涂层(cVD法)可以克服这些缺点，另外，RE—