等厚干涉实验中缺陷检测的数值模拟.pdfVIP

第 35卷 第 1期 物 理 实 验 Vo1．35 NO．1 2015年 1月 PHYSICSEXPERIM ENTAT10N Jan．，2015 等厚干涉实验中缺陷检测的数值模拟 刘建龙 ，高 扬 (1．哈尔滨工业大学 物理 系，黑龙江 哈尔滨 150001； 2．黑龙江大学 电子工程学院，黑龙江 哈尔滨 150080) 摘 要 ：利用数值方法研究了等厚干涉实验中平面玻璃存在 凸凹缺陷时的干涉条纹，给 出了不同缺陷尺寸、高度或 曲率情况下的条纹变化性质 ，讨论了利用干涉 图像进行缺陷检测 的方法 ．该研究给出等厚干涉实验 中的典型 问题 的数 值求解办法 ，结果形象直观 ，便于理解 ． 关键词：等厚干涉；数值仿真 ；缺陷检测 中图分类号 ：0436．1 文献标识码 ：A 文章编号 ：1005-4642(2015)01-0023—04 放置 ，另一块玻璃与水平玻璃存在一定夹角．下 1 引 言 侧玻璃上表面存在 1个球面凸起缺 陷，2块玻璃 等厚干涉实验是物理实验课程 中的经典实验 之间形成一定厚度的空气间隙．当一单色平面波 项 目，其 中牛顿环和劈尖干涉实验最为典型，在大 从上向下垂直照射到劈尖装置上时，其 中一部分 学物理实验课 堂上 也最为常见_1。]．学生 可 以通 光在 AB表面反射并与从CD 面反射 的光发生干 过实验来观察干涉现象，同时也学习了利用等厚 涉．假设干涉的 2束光 的强度均为 L，则距离 C 干涉进行 曲面曲率和薄膜厚度测量 的方法．实际 点水平距离为 z处 的干涉条纹 的强度可 以写 上 ，等厚干涉实验 除了用来做 曲率和厚度测量 为[7l： 外 ]，另外一个典型的应用就是玻璃表面缺陷的 检测 ]．然而 ，带有特定尺寸和形状 的缺陷的平 面玻璃不易加工 ，这也影响了这类实验 的开设． 目前，多数物理实验教材只把这个问题作为讨论 题供学生思考．然而，仅靠理论分析 ，无法验证分 析的准确性 ，也不能得到直观的认识． 事实上，当牛顿环或劈尖干涉装置 的玻璃表 面存在 的凸起或凹陷形状 比较规则 ，且变化 比较 平缓时，可以利用计算机程序来模拟其产生的干 图1 存在缺陷的劈尖结构图 涉现象，并给出干涉条纹的形状和分布 ，进而研究 干涉条纹随结构参量变化 的规律．在本次研究 I(z)一410sin [惫o (z)]， (1) 中，选择劈尖干涉装置，研究玻璃存在球面凸起或 其 中是。为人射光在真空中的波矢，d()为 位 凹陷时，不同缺陷尺寸 、高度和曲率对干涉条纹的 置处 2个玻璃表面的距离 ，如 图 l所示．在无缺 影响． 陷的位置 ，空气间隙的厚度为线性变化，即： d(z)：xtan口， (2) 2 原理与公式 其 中a为劈尖 的夹角．在缺陷位置 ，空气 间隙的 图 1为劈尖装置示 意图，1块平板玻璃水平 厚度不再是线性变化．考虑到缺陷的形状为球形 “第 8届全 国高等学校物理实验教学研讨会”论文 收稿 日期 ：2014—05—29；修 改 日期 ：2014-10—01 资助项 目：黑龙江省高等教育教学改革项 目资助 (No．JG2012