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第29卷 第 6期 应用光学 Vo1.29 No.6
2008年11月 JournalofAppliedOptics NOV. 2008
文章编号 :i002—2082(2008)06—0854—05
CCD致冷技术在小型光谱仪降噪中的应用
陈 芳 ,孙利群,章恩耀
(清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084)
摘 要 :与传统光谱仪相比,小型光谱仪在性能上存在着较大的差距 ,光度准确度较差、信噪比
低等问题 限制 了其在弱光检测中的应用。分析小型光谱仪的噪声来源及其抑制方法,结合CCD设
计 了其致冷结构 ,并采用半导体致冷技术对 自行设计的小型光谱仪进行 了降噪处理。测量 了不同
温度下CCD的暗电流,发现致冷对CCD噪声起到很好 的抑制作用;在此基础上 ,参照分光光度
计的国家机械行业标准和计量检定规程 ,测量 了致冷条件下小型光谱仪的光度噪声和基线平直
度 。结果表明:致冷能有效地提高仪器的性能,实验用小型光谱仪的光度噪声为±0.002Abs,基
线平直度为±0.004Abs。
关键词 :小型光谱仪 ;半导体致冷技术;CCD;光度噪声;暗电流
中图分类号 :TN15—3 文献标志码 :A
Application ofCCD refrigeration in theminiaturizedspectrometer
CHEN Fang,SUN Li-qun,ZHANG En—yao
(StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstrument,
TsinghuaUniversity,Beijing100084,China)
Abstract:Comparedtothetraditionalspectrometers,theminiaturespectrometerispoorinnoise
andphotometricperformance.Theseproblemslimititsapplicationinthedetectionofweaklight
signals.The noisesourcesofminiaturespectrometerswereanalyzed and differentkindsof
techniquesusedfordecreasingthenoisewereintroduced.Toenhancethecapabilitiesofaself—
developedminiaturespectrometer,thesemiconductorcoolingtechnologywasusedtodecrease
thenoise.Basedon thesizeofCCD,thestructureofrefrigeratorwasdesignedtoimprovethe
cooling efficiency.ThenoisesourcesoflinearCCD wereanalyzed and thedark currentat
differenttemperatureswastested.The photometricnoiseand baseline flatnesswere tested
according to thenationalindustry standard.Theresultsshow thatrefrigeration isusefulin
limitingnoise.Thephotometricnoiseoftheminiaturespectrometeris ±0.002Abs,andthe
baselineflatnessiS±0.004Abs.
Keywords:miniaturized spectrometer;semiconductorcooling technology;CCD;photo
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