GeSi／Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟.pdfVIP

量子光学学报 14(4)：453～458，2008 ActaSinicaQuantumOptica 文章编号：1007-6654(2008)04-0453．-06 GeSi／Si异质结光波导光栅耦合器的设计与模拟 徐勤 昌， 刘淑平 (太原科技大学，山西 太原 030024) 摘要：GeSi／Si异质结光波导是硅基光电集成 (OEIC)领域一种重要 的连接器件 ，研究其光的输入耦合 ，提 高耦合效率有着重要的意义。通过分析导模一辐射模的耦合理论求得光栅耦合器的辐射损耗系数，设计分 析了波导层厚度为250013111，入射波长为 1300llm的单模 Ge。。SiO ． 95 ／Si异质结波导光栅耦合器的周期、长 度和槽深 ，得出从空气 中输入角为75。(从衬底中入射角为 16。)时 ，周期为0．512Ixm，槽宽为 0．256 m， 光栅长度为2．3mm，从空气侧输入时耦合效率为22．5％，从衬底输入时耦合效率为46．3％，并对其输入 、 输出光场进行了数值模拟。 关键词：GeSi／Si异质结 ； 光电集成 ； 光栅耦合器 中图分类号 ：0431 文献标识码 ：A 长期以来 si在光电上的应用落后于Ⅲ．Ⅳ 族 栅 ，国外最近报道了一种新型的光栅耦合器 材料 ，由于分子束外延技术与化学气相淀积技术 的设计方案 』，随着光刻和蚀刻 刮技术的发展 ， 的发展 ，使应变可控 的GeSi／Si异质结器件得以 在GeSi／Si异质结平面光波导上设计研制光栅耦 实现 ，应变可控 的 GeSi／Si异质结具有许多优异 合器已是当前重要的课题 ，GeSi／Si异质结光栅耦 的性能 ：它给人们带来了全新的以 “能带工程”代 合器便于和 GeSi／Si异质结光 电器件集成，可 以 替传统的 “杂质工程”进行器件设计的机遇，GeSi 作为光电互联的连接器件，对于解决电子传输瓶 合金的间接带隙对应波长在 1．3 m一1．55Ixm， 颈的发展有着重要的意义。光栅耦合器的设计最 能与光通讯窗 口匹配，GeSi材料成本低廉且与 Si 关键的是辐射损耗系数的求解 ，通常的方法是把 的微 电子工艺兼容。这使得 GeSi／Si异质结在光 导模和辐射模的电场函数表达式代人到耦合系数 通信波长硅基光电子集成 (OEIC)上应用极具吸 公式进行求解 ，然后再求出辐射损耗系数 ，但计 引力。已经制造 出的器件如：GeSi／Si异质结光探 算过程相当的复杂和繁琐 ，本文采用 MATLAB软 测器…，二维 GeSi波导l23等。波导光栅耦合器 件进行设计，使计算过程大为简化。 具有平整的结构 ，可集成于波导中，而且体积小、 性能稳定，调整光束的入射位置时不需要严格的 1 理论方法 精度 ，可以激励宽度大的波导光 ，严格 的设计可 以得到很高的耦合效率。所以它是集成光学中最 在 GeSi合金平面光波导层上刻蚀出周期性 有使用价值的光束耦合器 ，国内报道过全息光聚 的矩形沟槽就可以做成光栅耦合器 ，其截面结构 合法制备聚合物波导光栅耦合器和利用双光子聚 如图1所示 ，图中0是激光束对薄膜表面的入射 合技术制备 的聚合物 型光栅光波 导和耦合光 角或出射角 ，A光栅周期 ， 和 分别为光栅沟槽 收稿 日期 ：2007-12-02； 修回日期：2008-08．22 基金项 目：山西省 自然科学基金 (2007011047) 作者简介：徐勤昌(1975一)，男 ，山东新泰人，太原科技大学物理系硕士研究生，