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GMR读磁头用面内取向CoCrPt永磁薄膜的结构与性能
李松田,刘 曦,史文魁,曹江伟,魏福林
(兰州大学 磁学与磁性材料教育部重点实验室 磁性材料研究所,甘肃兰州 730000)
摘 要:用磁控溅射的方法在 crlw 衬底上制备 了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向
的CoCrPt合金薄膜。研究了crhw 衬底 (200)织构与w含量之间的关系,沉积在CrW衬底上的CoCrPt合
金薄膜微结构及磁性能,以及CoCr中间层的添加对CoCrPt合金薄膜生长出面内取向的 (1120)织构的影响及
磁性能的影响。实验结果表明,CoCr中间层的引入对 CoCrPt合金薄膜易磁化轴的面内取向起到了十分关键的
作用。
关键词:CoCrPt薄膜;织构;磁性能
中图分类号:0484.43 文献标识码:A 文章编号:1001.3830(2008)05.0016.03
M icrostructureandPropertyofLOngitudinallyOriented
CoCrPtThinFilm forGM R Head
LISong—tian,LIU Xi,SHIWen—kui,CAO Jiang—wei,W EIFu—lin
ResearchInstituteofMagneticMaterials,KeyLaboratoryforMagnetismandMagneticMaterials
oftheMinistryofEducation,LanzhouUniversity,Lanzhou730000,China
Abstract:CoCrPtthinfilmswithlongitudinalorientationofeasyaxisforofferingbiasfieldofrGMRheadhave
beenpreparedbymagnetronsputteringonCrl—W underlayer.The(200)textureofCrl— underlayerwas
investigated.ThemicrostructureandmagneticpropertiesofCoCrPtthinfilmswithandwithoutCoCrintermediatelayer
wereinvestigated,respectively.Theemploymentofa3nm CoCrintermediatelayerwasprovedtobecrucialtosuppress
themisfitsbetweenCoCrPtmang eticlayerandCrW underlayer.
Kevwords:CoCrPtthinfilm; texture: mangeticproperties
取向的织构。这两种织构分别与 HCP结构的 Co
l引言
的 (1120)和 (10T1)织构满足很好的晶体学外
CoCr基合金薄膜不仅可用作传统水平磁记录 延关系,从而能诱导出面内取向的CoCr基合金薄
介质,而且还可以用于 自旋 阀读磁头中,提供水平 膜L5J。对 CoCrPt合金微结构的观测结果,普遍认
磁场的偏置层。无论是作为水平磁记录介质,还是 为,Cr元素主要分布在晶粒的边界上,起隔离晶
读磁头中的水平偏置层,为了充分利用密排六方 粒的作用,它削弱了晶粒问的耦合作用,这对它作
(HCP)结构的CoCr基合金薄膜 的磁晶各 向异性, 为磁记录介质是十分有利的,可 以减小介质的噪
必须使HCP结构的CoCr基合金薄膜的易磁化轴c 声。Pt的添加,可以显著提高CoCr基合金的矫顽
轴平行于薄膜表面 。研究发现,这可以通过将 CoCr 力。这被认为是Pt的添加使Co晶格膨胀,导致磁
基合金薄膜沉积在合适的衬底材料上得以实现。已 各向异性增大的结果。我们知道,异质外延的
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