DBD等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征.pdfVIP

包装工程 　PA C KA GIN G EN GIN EER IN G Vol . 29 No . 12 2008. 12 DBD 等离子体合成类金刚石薄膜及其性能表征 付亚波 , 桑立军 , 常龙龙 , 许文才 (北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室 , 北京 102600) ( ) 摘要 : 利用一种新颖的高气压介质阻挡放电 DBD 等离子体下游区装置 , 以C H4 、H2 和 Ar 气体分别 作为碳源与稀释气体 ,成功地进行了快速合成类金刚石薄膜的探索 。实验分别研究了不同气体比例条件 下类金刚石薄膜的生长情况 ,并对所合成的薄膜分别进行了水接触角 、表面粗糙度 、红外光谱和 Raman 光 谱测试分析 。结果表明 ,在放电等离子体下游区能够快速沉积特征峰明显的类金刚石薄膜 ,充分体现了高 气压介质阻挡放电在材料合成方面的优势 。 关键词 : DBD 等离子体 ;合成 ;类金刚石薄膜 ;性能表征 中图分类号 : O539 ; TB383 　文献标识码 : A 　文章编号 : 100 1 - 3563 (2008) 12 - 0044 - 03 Synt hesis of D i a m on dL i ke Ca rbon Fil m s by D ielect ric B a r rier D isch a r ge Pl a s m a a n d It s Ch a r act eriz at ion F U Yabo , S A N G L ij un , C H A N G L ongl ong , X U Wencai (L ab . of Printing Packaging Mat erial s and Technolo gy - Beij ing Area Maj or L aboratory , Beij ing In stit ut e of Grap hic Communication , Beij ing 102600 , China) Abst r act : U sing C H4 , H2 and Ar a s t he carbon source and dilution ga s , diamondlike carbon (DL C) films were successfully depo sit ed by a novel designed down st ream zone depo sition device of dielect ric barrier di schar ge (DBD) pla sma . DL C film s synt hesized in variou s CH4 , H2 and Ar gas p roportion s were syst em atically investigat ed and t heir p rop erties were charact erized by wat er cont act angle mea surement , surface morp hology t est , F TIR , a s well a s Raman sp ect romet ry analysi s. The result s