用于10^-6N～10^-5N微力测量的柔性铰链机构设计.pdfVIP

第27卷 第 11期 传 感 技 术 学 报 Vo1_27 No．11 2014年 11月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS NOV．2014 DesignofFlexureHingeMechanism for10—6N一10—5NMicroForceMeasurement CAIXue，ZHAO Meirong ，ZHENGYelong，ZHANGGuoqiang (State研 LaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments，TianjinUniversity，孔0njin300072，China) Abstract：Inamicro．nanoforcemeasurementsystem basedontheprincipleofstaticelectricfield，themechanism usedforforcetransmissionandtransformationplaysavitalrole．Theparallelogram flexiblehingemechanism isused aselasticelement，in ordertorealizethemeasurementofforce0nthescaleof10一 N．Themathematicalmodelof theflexiblehingeisanalyzedtostudythestaticanddynamicstiffness．Thetheorystiffnessisdeterminedaccording tothesystemrequirement．Thefiniteelementmethodisusedfortheoptimizationdesignandmodalanalysis．Thein- fluencetothehingestiffnessofthemachiningaccuracyisanalyzed．Thestiffnesstestandforcevaluemeasurement resultsaregivenbyexperiments．Resultsshow thattheparallelogram flexiblehingecanbeusedintheforcemeas- urementsystem 0nthesealeof10～ N． Keywords：microforcemeasurement；flexiblehinge；finiteelement；stiffness EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2014．11．002 用于 10一N～10 N微力测量 的柔性铰链机构设计水 蔡 雪，赵美蓉 ，郑叶龙，张国强 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ，天津 300072) 摘 要 ：在基于静电场原理的微纳力值测量系统中，力值的传递与转化机构起着至关重要的作用。选择平行四边形柔性铰 链机构作为其弹性元件 ，以实现 10 N量级的力值测量。分析了柔性铰链的数学模型 ，研究了其静态与动态刚度；根据系统要 求确定了柔性铰链的目标刚度 ，并采用有限元方法对其进行优化设计和模态分析；分析了加工精度对铰链刚度的影响。将该 铰链用于微力测量系统中，通过实验给出了刚度测试结果和力值测量结果 ，实验表明，该平行四边形柔性铰链满足微力测量 系统对 10 N量级的力值测量要求。 关键词 ：微力测量；柔性铰链；有限元；刚度 中图分类号：TH823；O441．1 文献标识码 ：A 文章编号：1004-1699(2014)11-1451-06 现阶段，微纳量级的力值已越来越多的应用于新 小，无间隙和运动平稳的特点而备受青睐，如美国国 材料、生物医药、微电子、航空航天、国防等诸多领域， 家标准技术研究所的静 电力一级标准机 ，韩 国 但 目前国际上对于小于 10 N量级的力值计量 尚无 计量院的纳米力校准仪 ，台湾工业技术研究院的 统一的方法 1-2]。为了促进相关