Nb掺杂锐钛矿相TiO2薄膜光学性质地研究.pdfVIP

第十七届全国半导体物理学术会议论文集 中国·长春2009年8月16日．20日 Nb掺杂锐钛矿相Ti02薄膜光学性质的研究 李惟慎+，杨继勇，孙秫，李恒，窦瑞芬，熊昌民，聂家财 北京师范大学物理系，北京，100875 Email：weishen2002@126．corn 薄膜有很大的提高。(电导率提高了三个量级，载流子浓度提高了四个量级，室温霍尔迁移 率为101em2Ns量级)，而且其光学性能亦佳。这使得Nb：Ti02薄膜成为制备透明导电氧化物 (TCO)材料的重要原料。 目前，关于Nb：Ti02薄膜发光机理的研究，主要集中在不同掺杂浓度x的Nb：Ti02薄膜 的透射谱之变化，以及不同掺杂浓度X的Nb：Ti02薄膜的带隙变化。一般认为，掺杂浓度越 高，Nb：Ti02薄膜的载流子浓度愈高，根据Drude模型，薄膜的等离子体振荡频率亦将随之 发生蓝移，从而导致了薄膜的透射谱发生变化。对于由Nb掺杂导致的薄膜带隙蓝移，文献 通常采用传统的Burstein．Moss(B．M)效应来解释【2】。而事实上，薄膜的厚度及其晶粒尺寸 也是一个影响薄膜电学、光学性质的重要性能参数。例如，晶粒尺寸效应亦会导致了薄膜材 料带隙的蓝移，特别是在薄膜厚度及相关的纳米颗粒尺寸较小的情况下蓝移尤为显著，此即 量子受限效应。 为了澄清量子受限效应与B．M效应对薄膜带隙所产生的影响，我们采用PLD法制备了 一批不同厚度的、锐钛矿相的纯Ti02薄膜，通过自组装外延技术控制其颗粒尺寸和形状，系 统地研究了Ti02纳米薄膜的光学性质与其量子受限尺寸的关系，并由透射谱计算出吸收系数 及其能隙最。另一方面，我们亦采用相同的方法研制了一批不同厚度的、不同Nb掺杂浓度 的N胁：Ti02薄膜，并研究了其带隙变化。并对这一方面的工作分为两步进行： 1)针对厚度及相关颗粒尺寸较大的Nb：Ti02薄膜，本文通过对薄膜载流子浓度的测量以 及霍尔迁移率的测量，确定了薄膜的有效质量，进而研究了B．M效应对大颗粒尺寸薄膜的发 光性质的影响。 2)对于厚度及相关颗粒尺寸较小的薄膜，我们在观测量子受限效应对薄膜的Eg影响的 同时，也考虑了晶粒尺寸所引起的薄膜载流子浓度的变化的问题，研究了两类发光机制对薄 膜光学性质的影响。 本研究系统研究了纯Ti02和Nb：Ti02薄膜光学性质与薄膜晶粒尺寸、Nb掺杂浓度的关 系。验证了锐钛矿相纯Ti02和Nb：Ti02薄膜的量子受限效应，阐明了B．M效应对Nb掺杂 Ti02薄膜发光机理的影响。本实验研究表明：B．M效应和薄膜的量子受限效应这两种发光机 制具有各自的有效颗粒尺寸及薄膜厚度范围。 本实验研究有助于人们选择最佳厚度的、最佳颗粒尺寸、最佳掺杂浓度的Nb：Ti02导电 薄膜。而这无论是在澄清Nb：Ti02薄膜发光机理方面，还是在构造Nb：Ti02高性能TCO薄膜 方面，都有着十分积极的意义。同时，对于寻找拥有上述特性的其他TCO功能薄膜材料具 有指导性的意义。 Letters86 【1】YutakaFurubayashiet，a1．AppliedPhysics 252101(2005) Sato Thin Solid 【2】Yasushiet，al Films(2008)5758-5762