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广东省光学学会2009年学术交流大会 一种用于SLA设备的液面检测装置+ 刘玉鹏李耀棠黄汉涌 (中科院广9、I1电子技术有限公司，广州510070) 激光固化快速成型(SLA)是从零件的CAD模型出发，通过软件分层和计算机控制激光束扫描 的方法将液态的光敏树脂固化为一个薄层。完成一个层的固化后，托板下移一个固定的距离以便 在原先固化好的薄层上在敷上一层树脂，然后再进行下一层的固化，如此反复直到整个零件制作 完成。在成型的过程中，如果树脂液面的高度无法精确控制，将直接影响树脂涂层的厚度，从而 降低零件的成型精度甚至导致零件毁坏。 激光位移传感装置主要应用在高灵敏度、高精度的位移、角度、同轴度的非接触测量，目前 国外此类传感器的研究处于领先水平并有成熟的产品，但价格昂贵。我国在这方面研究也有诸多 报道，但多处在实验室阶段，在市面上没见到产品出现。在实际应用中，要求激光位移传感装置 结构紧凑，抗干扰能力强，较高的测量精度，而且对外界环境及待测表面的变化有一定的适应能 力。针对以上的问题，本文对使用位置传感器(PSD)的、基于三角反射式测量原理的液面高度 检测装置的原理、结构及其主要技术参数进行了研究和分析，对其中的光路、电路和机械结构三 个部分进行了优化设计，主要包括： 1．光路设计 光路设计使用光学设计软件进行模拟，LD发出的光经透镜a会聚后照射到液面测量范围的中 间位置Lo，通过透镜b将经液面反射的光束成像在PSO的中间位置Po。由于PSD有效检测长度 利用率越高，其PSD输出差异也更明显，因此要实现测量范围L内的高精度液面变化检测，最有 效方法是选择合适的凸透镜a和b，使得Pa+Pb达到PSD最大的有效检测长度。在确定了透镜和 入射角以后，在PSD和凸透镜b之间放入一块平面反射镜，通过调节反射镜的倾角可以方便的调 整光点在PSD上的高度，反射镜还起到减小液位检测设备体积的作用。 2．电路设计 电路部分包括LD驱动、IV转换放大、AD信号采集和运算处理。PSD是低内阻的电流型器 件，电流信号非常微弱，要求放大器不仅要有较低的偏置电流特性，而且要求输入噪声电压和零 漂移电压都比较小，冈此IV转换和放大选用了低温漂高输入阻抗运算放大器OP37。信号采集和 处理则选用带有24位ADC的单片机C8051F350，仅使用少量的外围元件及简单的电路就实现了 两路每秒10次16位精度的电压采集，同时在单片机中实现两路电压加减相除运算。 3．机械结构设计 研制的液面检测装置}玎整块铝合金按功能分区域设计加工而成，整个结构丰要分为四个方形 区域以及两个用于安装LD和透镜的圆孔，结构内壁采用哑光发黑处理。分腔设计不仅能使结构 更稳定，最大限度地保证了LD以及透镜的稳同安装，还能对各种电、光干扰起到屏蔽效果。 研制的液面测量装置在静态下可得到2um的测量精度，开启设备仍可得到小于109m的测量 精度，完全满足SLA快速成型设备对分层厚度50—100pm的精度要求。 ‘2007年粤港关键领域重点突破招标项目(广州市专项，200忆1一D6091)