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铝电解电容器用不同工艺腐蚀箔的对比研究.pdf
陈金菊 等:铝电解电容器用不同工艺腐蚀箔的对比研究 1521
铝电解电容器用不同工艺腐蚀箔的对比研究*
陈金菊,冯哲圣,郭红蕾,杨邦朝
(电子科技大学 微电子与固体电子学院,四川 成都 )
610054
摘 要: 利用金相显微镜分析软质交流腐蚀箔、直交 交流腐蚀箔、直 交流腐蚀箔与硬质交流腐蚀箔,如表
- 1
流腐蚀箔及硬质交流腐蚀箔的表面及断面蚀孔形貌, 所示(表中仅列出整条生产线的工艺不同部分)。采用
监测腐蚀箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,并测 XJZ-1A 型金相显微镜,观测不同工艺腐蚀箔的表面及
试腐蚀箔阳极氧化后的比容、漏电流、抗拉强度及折弯 断面形貌。
次数。结果表明,软质交流腐蚀箔的蚀孔形貌呈灌木 表 制备 种腐蚀箔的不同工艺
1 3
状;直 交流腐蚀箔的蚀孔呈乔木和灌木状分布,蚀孔
- Table1Threekindsofetchedaluminum foilswere
中有部分大而稀疏的隧道孔,扩面倍率最小;而硬质交 fabricatedb differenttechniues
y q
流腐蚀箔的蚀孔呈蜂窝状,孔洞细密,扩面倍率最大。
腐蚀箔种类 光箔 一级腐蚀 二级腐蚀
直 交流腐蚀箔的漏电流最小,硬质交流腐蚀箔的抗拉
-
软质交流腐蚀箔 退火,软质 交流 交流
强度及折弯次数最大。 直 交流腐蚀箔 退火,软质 直流 交流
-
关键词: 软质交流腐蚀箔;直 交流腐蚀箔;硬质交流 硬质交流腐蚀箔 未退火,硬质 交流 交流
-
腐蚀箔;蚀孔形貌 不同工艺腐蚀箔分别在 15% 的己二酸铵电解液
中图分类号: 文献标识码: 中, 进行恒电流阳极氧化,阳极氧化电流密度为
TM535 A 75℃
文章编号: ( ) / 2(以几何面积计)。到达额定形成电压后,
100110-1521-03 50mA cm
恒压保持 。利用美国 公司生产的
10min Keithle 2700
1 引 言
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