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PET基纳米Ag薄膜导电性能及AFM分析.pdf
维普资讯
·92 · 材料导报 2007年 11月第21卷专辑Ⅸ
PET基纳米 Ag薄膜导电性能及 AFM 分析
王鸿博,魏取福,高卫东
(江南大学生态纺织科学与技术教育部重点实验室,无锡 214122)
摘要 为了研究在PET基非织造布上沉积纳米Ag薄膜厚度对薄膜表面形貌及导电性能的影响,采用磁控溅
射法,在PET非织造布上制备 了不同厚度的纳米结构Ag薄膜,采用原子力显微镜 (AFM)分析不同厚度纳米结构Ag
薄膜形貌及粒径的变化;研究了纳米Ag薄膜厚度与薄膜导电性能的关系。实验结果表明:随着膜厚的增加,膜表面
逐渐形成连续结构;同时PET非织造布基银薄膜存在一个临界膜厚,在临界膜厚处,薄膜致密度更高,生长更为均匀,
薄膜缺陷较少;同时,随着膜厚增加,导电性能提高,在临界膜厚处,电阻率达到最小。
关键词 PET 纳米银薄膜 导电性能 磁控溅射 AFM
AFM AnalysisandConductivityofNanostructuredSilver
FilmsDepositedon PET Nonwovens
WANG Hongbo,WEIQufu,GA0Weidong
(KeyLaboratoryofScienceandTechnologyofEco-textitesMinistry ofEducation,
JiangnanUniversity,Wuxi214122)
Abstract NanostructuredsilverfilmsofdifferentthicknessesaredepositedonPETnonwovensbymagnetron
sputteringtostudytheimpactoffilm thicknessonsurfacemorphologyoffilm andconductivity.AtomicForceMicro—
scope(AFM)isemployedtoanalyzethesurfacemorphologyofthesilverfilm andthegrainsizeofthesilverparticles,
andtherelationshipbetweenfilm thicknessandductivityisanalyzed.Thetestresultsshowedthatthesilverfilm grad—
uallyassumescontinuouscovering stateasfilm thicknessincreases.、vhanthefilm thicknessreachesthecriticalthick—
ness,thefilm becomesmorecompactandgrowsmoreuniformly,andthefilm haslessdefects.Asthefilm thickness
increases,theelectroconductivityisimproved,and theelectricalresistivityachievesthelowestvaluewhen thefilm
thicknessequalstothecriticalthickness.
Keywords PET,nanostructuredsilverfilm,conductivity,magnetronsputtering,AFM
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