AuNiCu多层薄膜热带海洋气候腐蚀失效机制研究李云双.pdfVIP

43 6 第 卷 第 期 表面技术 2014 12 SUＲFACE TECHNOLOGY 年 月 ·43 ·  Au / Ni / Cu 多层薄膜热带海洋气候腐蚀失效机制研究 1，2 1 2 1，2 3 ， ， ， ， 李云双 曹江利 姚文清 严楷 陈拥军 (1． ， 100083 ;2． ， 100084 ; 北京科技大学新材料技术研究院 北京 清华大学化学系 北京 3． ， 570228) 海南大学材料与化工学院 海口 : Au / Ni / Cu ， 摘 要 目的 了解 多层金属薄膜在热带海洋气候下的失效机制 为研究电子元器件表面腐 。 p Si (100) Au / Ni / Cu ， 蚀失效的早期预警提供参考 方法 采用磁控溅射法在 型单晶 基片上沉积 薄膜 ， 在热带海洋气候环境下进行时效实验 采用原子力显微镜及俄歇电子能谱对薄膜失效表面与界面结构微 。 ，Au / Ni / Cu Au ， 观变化进行研究 结果 时效实验初期 薄膜表面发生了 原子聚集 形成了不再连续的岛 ， 。 ， ， Ni Cu 状结构 岛与岛之间产生了表面微裂纹 随着时效时间的延长 表面形成腐蚀洞 腐蚀洞附近有 和 Au 。 ， ， ， ; 扩散至 层表面 时效时间进一步延长后 腐蚀洞的数量增加 面积增大 此时样品处于腐蚀末期 与此 ， ，Au / Ni / Cu 。 Au / Ni / Cu 同时 在未产生腐蚀洞的区域 薄膜界面未出现明显粗化 结论 薄膜在热带海洋 气候中的失效主要是通过表面产生的腐蚀洞进行的。 : ; ;