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第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议论文集 PLD法制备BaZr03薄膜及其铁电性质研究+ 蔡卫星康琳杨森祖傅泽椽颜大摄吴培亨 哺京大学电子系,徽结构科学技术高等研究中心,210093) Laser 【■要】本文介绍了利用PLD(Pulsed 膜的技术.用x衍射分析了样品的结构。显示了这两层薄鞋的生长情况良好,并测量了BaZrⅨ的电滞 回线.讨论和展望了BaZz0=村科的应用前景 1前言 近年来,铁电材料在固态电子器件的应用受到普遍的关注,它们可用于开发非挥 发性存储器、微型马达、非线性光电器件和热释电器件.新近,铁电薄膜在高温超导 微波电调器件研究中也很受重视,如钛酸钡、铌酸锶钡等,舍有铁电膜的高温超导滤 波器、谐振器、相移器等多有报道,可以实现电调谐等特性.而这些器件都必须建立在 铁电和高温超导薄膜之间匹配的基础上. 本文研究的Ba7_.rO,(BZO)材料具有钙钛矿的结构.这与高温超导YBa2Cu307。 (YBCO)十分相似,并且它们的晶格常数和热膨胀系数也有者良好的匹配性.利用 YBCO作为BzO的电极是可行的. 2实验与结果分析 以前的实验表明,在W90基底淀积BaZr0,和YBc0薄膜都是十分成功的.从它们 ×zo-/C’,薄膜具有较好的c轴取向,11『B∞的常温表面电阻约几十欧姆,比较理想。 为了便于研究BaZrn铁电薄膜与YBCO超导薄膜之间的匹配.测量BaZrOa的铁电性质, BaZrOs膜. 实验系统主要由准分子脉冲激光器以及高真空淀积系统组成。我们使用的激光器 是德图Lan出da Physik公司生产的COMPEX205型激光器,该激光器工作气体是KrF, 脉冲光束波长为248nm.脉冲擞光重复频率在50Hz范围内可调.真空系统为中冒科 学院沈阳科学仪器研制中心生产的PLD400型脉冲激光镀膜设备。 ·由国家超导技术研究与开发中心、国家重点基础研究专项舞助. 本文于2000年6月23日收到. 136 蔡卫星等tPLD法制备B龇薄膜及其铁电性质研究 第一步淀积YBCO薄膜。将经过预处理的M90基片置于加热炉上,旋转使YBCO 靶位正对基片,靶距为40mm。先后使用机械泵和分子泵对真空室抽气.同时对基片 加热,加热电流约为4A,控制温度为890。C.背景真空度达到1矿Pa量级以后,可 以充入氛捆气体02,一边充高纯氧一边用机械泵抽真空,调整充气和抽气速率使氧 压为271%,特温度、压强稳定后开始淀积。脉冲激光能量调至0.42mJ。频率6Hz. 利用反射镜的转动将聚焦后的光斑在靶上进行横向和纵向扫描,淀积时间20分钟。 淀积完毕,把基片温度降至450%,充氧至latin氧化20分钟,这样得到厚约200rim 的YBCO薄膜. 第二步淀积BaZr03薄膜。选择BaZzO;靶,控制温度为8000C,淀积时间为20 分钟.其他主要步骤和参数同上,得到厚约400hm的BaZrO,薄膜. 这样得到的薄膜呈现土黄色金属光泽,表面较为平整光亮,但在显微镜下观察仍 发现有一些的表面颗粒存在,这是PLD制膜的缺点,但对后继研究的铁电性质影响不 大。 通过X衍射可以研究所得薄膜的晶体结构,本实验的x衍射结果如图: IOOOOO B20 200 ●OOOO Ma0 hlI∞co_uI ‘O}OO 4O口OO YBC0 2O口O0 YBC0 005 YBC0 coI覃j=一o^-匕.× 008 BZO

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