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第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议论文集
PLD法制备BaZr03薄膜及其铁电性质研究+
蔡卫星康琳杨森祖傅泽椽颜大摄吴培亨
哺京大学电子系,徽结构科学技术高等研究中心,210093)
Laser
【■要】本文介绍了利用PLD(Pulsed
膜的技术.用x衍射分析了样品的结构。显示了这两层薄鞋的生长情况良好,并测量了BaZrⅨ的电滞
回线.讨论和展望了BaZz0=村科的应用前景
1前言
近年来,铁电材料在固态电子器件的应用受到普遍的关注,它们可用于开发非挥
发性存储器、微型马达、非线性光电器件和热释电器件.新近,铁电薄膜在高温超导
微波电调器件研究中也很受重视,如钛酸钡、铌酸锶钡等,舍有铁电膜的高温超导滤
波器、谐振器、相移器等多有报道,可以实现电调谐等特性.而这些器件都必须建立在
铁电和高温超导薄膜之间匹配的基础上.
本文研究的Ba7_.rO,(BZO)材料具有钙钛矿的结构.这与高温超导YBa2Cu307。
(YBCO)十分相似,并且它们的晶格常数和热膨胀系数也有者良好的匹配性.利用
YBCO作为BzO的电极是可行的.
2实验与结果分析
以前的实验表明,在W90基底淀积BaZr0,和YBc0薄膜都是十分成功的.从它们
×zo-/C’,薄膜具有较好的c轴取向,11『B∞的常温表面电阻约几十欧姆,比较理想。
为了便于研究BaZrn铁电薄膜与YBCO超导薄膜之间的匹配.测量BaZrOa的铁电性质,
BaZrOs膜.
实验系统主要由准分子脉冲激光器以及高真空淀积系统组成。我们使用的激光器
是德图Lan出da
Physik公司生产的COMPEX205型激光器,该激光器工作气体是KrF,
脉冲光束波长为248nm.脉冲擞光重复频率在50Hz范围内可调.真空系统为中冒科
学院沈阳科学仪器研制中心生产的PLD400型脉冲激光镀膜设备。
·由国家超导技术研究与开发中心、国家重点基础研究专项舞助.
本文于2000年6月23日收到.
136
蔡卫星等tPLD法制备B龇薄膜及其铁电性质研究
第一步淀积YBCO薄膜。将经过预处理的M90基片置于加热炉上,旋转使YBCO
靶位正对基片,靶距为40mm。先后使用机械泵和分子泵对真空室抽气.同时对基片
加热,加热电流约为4A,控制温度为890。C.背景真空度达到1矿Pa量级以后,可
以充入氛捆气体02,一边充高纯氧一边用机械泵抽真空,调整充气和抽气速率使氧
压为271%,特温度、压强稳定后开始淀积。脉冲激光能量调至0.42mJ。频率6Hz.
利用反射镜的转动将聚焦后的光斑在靶上进行横向和纵向扫描,淀积时间20分钟。
淀积完毕,把基片温度降至450%,充氧至latin氧化20分钟,这样得到厚约200rim
的YBCO薄膜.
第二步淀积BaZr03薄膜。选择BaZzO;靶,控制温度为8000C,淀积时间为20
分钟.其他主要步骤和参数同上,得到厚约400hm的BaZrO,薄膜.
这样得到的薄膜呈现土黄色金属光泽,表面较为平整光亮,但在显微镜下观察仍
发现有一些的表面颗粒存在,这是PLD制膜的缺点,但对后继研究的铁电性质影响不
大。
通过X衍射可以研究所得薄膜的晶体结构,本实验的x衍射结果如图:
IOOOOO B20
200
●OOOO Ma0
hlI∞co_uI
‘O}OO
4O口OO
YBC0
2O口O0
YBC0 005 YBC0
coI覃j=一o^-匕.×
008 BZO
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