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光栅的分类.ppt
光栅的分类 物理光栅——刻度细密，用于光谱分析和光波波长的测定。 计量光栅——比较而言刻度较粗，但栅距也较小，在0.004~0.25之间，测量的位置精度非常高，分辨率也很高，达0.1μm，主要用在数字检测系统。 长光栅检测装置的结构 主光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固定部件上，两者相对移动，相互平行，他们之间保持0.05mm或0.1mm的间隙。主光栅和指示光栅的刻度错开一定的角度，以得到莫尔条纹。 主光栅和指示光栅通称为光栅尺，它们是在真空镀膜的玻璃片或长条形金属镜面上光刻出均匀密集的条纹。 光栅的线纹相互平行，线纹之间的距离称之栅距。对于圆光栅，这些线纹是圆心角相等的向心条纹。两条向心纹线之间的夹角称为栅距角。栅距和栅距角是光栅的重要参数。 * 光栅传感器为动态测量元件，按运动方式分为： 长光栅（用来测量直线位移） 圆光栅（用来测量角位移） 一般光栅传感器都是做成增量式的，也可以做成绝对值式的。 目前光栅传感器应用在高精度数控机床的伺服系统中，其精度仅次于激光式测量。在加工中心等高精度数控机床上应用广泛。 光栅由光源、聚光镜、主光栅、指示光栅和光敏元件等构成。 长光栅 *
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