高速罗茨真空泵噪声的形成和控制.pdfVIP

高速罗茨真空泵噪声的形成及控制 徐祖德 (上海萃曼真空机电制造有限公司) 摘要：罗茨真空泵(以下简称“罗茨泵”)是利用一对在相对密闭的泵腔中作等速反向旋转的、相互间保持相对恒定间隙的 “8”字形转子所产生的吸气和排气作用，达到输送和抽除固定容器中气体的目的。与其他泵类机械产品一样，罗茨泵噪声的 大小，可以综合反映罗茨泵的加工精度、装配精度等机械精度以及泵的运行乎稳性。相对于由四极(或更多极)工频电机直 (50Hz工频电源)的高速罗茨泵对噪声的控制要求更高。罗茨泵噪声产生的机理比较复杂，以前也有一些对此的专门研究，但 这些研究主要偏向于轴承、齿轮等主要转动部件对噪声的影响。高速罗茨泵对轴承、齿轮等基础零部件和泵的其他部件的精度 要求和装配要求更高，其噪声产生的机理也更为复杂。本文试图结合笔者在高速罗茨泵生产制造方面的经验和实践，对高速罗 茨泵噪声产生的机理作一个更全面的研究，同时提出了控制罗茨泵噪声的路线图。 1．4电机运转噪声 l 高速罗茨泵噪声产生机理 罗茨泵是由电机带动运转的，电机本身就是 只要有机械运动，就会产生噪声。按照对罗茨 一个噪声源。但当电机选择不当，或电机质量低下 泵噪声的贡献率大小，大致可以将影响罗茨泵噪声 时，这一噪声会成为罗茨泵噪声的主要来源。 的因素梳理和排列如下。 1．5气流噪声 1．1齿轮啮合噪声 气流噪声是气流的起伏运动或气动力产生的噪 罗茨泵都会包含一对传动比为l：l的齿轮组合， 声。罗茨泵气流噪声的产生与泵的结构以及进出口 齿轮传动必然会产生噪声。这一齿轮组合啮合产生 压力差有关，这种噪声的消除要靠改变泵的设计解 的噪声是罗茨泵的最主要噪声源之一。高速罗茨泵 决。 由于转速更高，所以产生的齿轮啮合噪声也更高。 1．6共振噪声 1．2轴承摩擦噪声 共振是指结构系统受激励的频率与该系统的固 轴承摩擦噪声也是罗茨泵噪声的重要组成部 有频率相接近时，使系统振幅明显增大的现象。当 分。轴承摩擦产生的噪声与轴承的结构形式、精度 罗茨泵的固有频率与泵的运转频率发生干涉时，就 和轴承的润滑状况相关。特别是高速罗茨泵由于转 会产生泵的共振，泵在共振时噪声会明显增大。在 速更高，从而对轴承的精度要求和润滑要求也更 高速罗茨泵中，此类噪声发生的概率更高。 高。 1．7搅油噪声 1．3过载保护阀开闭噪声 为了保证罗茨泵齿轮和轴承处于良好的润滑状 为了防止在罗茨泵的进出口形成高压差时泵 态，在泵的前后盖邮箱内一般都安装有搅油板。搅 发生过载，目前高端罗茨泵均在泵的进出气口间都 油噪声来自于两个方面，一是齿轮搅油噪声，二是 会安装一个能够根据设定压差自行开闭的过载保护 甩油板搅油噪声。一般来说，搅油噪声对罗茨泵噪 阀，以达到防止泵过载和保护电机的目的。过载保 声的贡献率最低，不是罗茨泵噪声的主要来源，但 护阀的使用，在极大地提升了罗茨泵适用性的同 如果不引起足够的重视，也会产生其他严重问题。 时，当过载保护阀处于工作状态时，阀头会撞击泵 1．8其他噪声 体，从而产生低频撞击噪声。这是构成罗茨泵噪声 除了以上几个方面，还有一些因素会对罗茨泵 的诸多噪声中唯一与电机频率(转速)无关的噪 的噪声产生影响。当罗茨泵或系统发生泄漏时(如 声，这一噪声尽管撞击频率不高(一般不会超过每 骨架油封磨损泄露、连接管