电热微夹持器的结构设计与数值仿真分析.pdfVIP

第25卷第 11期 机 械 设 计 Vo1．25 No．11 2008年 11月 JOURNALOFMACHINEDESIGN NOV． 2008 电热微夹持器的结构设计与数值仿真分析 李宇鹏 ，孙红胜 ，阴学朴 (1．燕山大学机械工程学院，河北 秦皇岛 0660O4；2．燕山大学 继续教育学院，河北 秦皇岛 066004) 摘要：微型机械电子系统(MEMS)是近年来研究的热点，其中微夹持器的研究受到越来越多的关注。文中采用有限 元软件ANSYS对平行梁结构电热微夹持器进行了数值仿真分析 ，模拟出微夹持器的输出位移、末端刚度、夹持力与响应 时间等性能参数随结构尺寸的变化情况，并对仿真的结果进行了讨论。 关键词：微夹持器；电热致动；ANSYS；数值仿真 中图分类号：TP241 文献标识码 ：A 文章编号 ：1001—2354(2008)11—0059—04 基于MEMS技术的微夹持器是微装配与微操作的重要执 主要结构几何尺寸变化对输出位移的影响。 行件 ，其性能的优劣直接影响到夹持动作的成败…。微夹持器 (1)驱动臂长度。微夹持器其他的尺寸不变，驱动臂的长度 的结构与性能主要由驱动方式决定，常见的驱动方式有静电驱 分别取 100，200，300，40O m，扩展臂输出位移的变化如图2所 动 、压电驱动 、电磁驱动和电热驱动 等。电热驱动与其 示，在输入电压相同的情况下，随着臂长的增加，输出位移增大。 他驱动方式相比具有明显优势：它克服了静电驱动和磁驱动对 距离有很大依赖的弱点，且仅需施加驱动电压，易实现、控制方 便，便于集成化。 置 电热驱动的问题在于一般固体材料的热胀系数较小，要让 i ；_三 ∞ 薯簿 、 8 7 6 5 4 3 2 l 0 结构的热胀量有实用性 ，需设计特别的位移放大结构。弯曲梁 模式结构简单，尺寸设计灵活，既能以小结构尺寸产生大位移 ， 蔷 又能实现较大驱动输出。可控制驱动电压与集成电路兼容。 镰 文中基于弯曲梁驱动结构的微夹持器 可实现通电闭合、 张开两种电压加载模式。在结构尺寸相当的情况下，其张合量 大，从而扩大了夹持器的适用范围。图 1为微夹持器的结构原 图2 驱动臂长度与位移的关系 理图，其主体由一对夹持臂组成，每个夹持臂包括驱动臂与扩 (2)夹持臂梁间的间隙。驱动臂各梁间的间隙量对输出位 展臂，驱动臂由3根平行梁组成，顶端由连接梁相连，末端电极 移有影响，其他尺寸不变，各梁间的间隙量取2，3，4，5Ixm，输入 固定在基底上。给不同的悬臂梁通电，可以实现通电张开或通 电闭合的双向夹持动作。 相同电压，其位移变化如图3所示，间隙越JJ,~U输出位移越大。 图1 电热微夹持器结构原理图 文中利用ANSYS对平行梁结构电热驱动微夹持器的张合 量、末端刚度、夹持力与响应时间等主要性能参数进行了数值 图3 各梁之间的间隙与位移的关系 仿真研究，分析了各主要结构尺寸变化对微夹持器工作性能的 (3)连接梁宽度。其他尺寸不变，连接梁的宽度变化对扩 影响。 展臂输出位移影响不大。如图4所示，随着连接梁宽度 的增