浅析CVD金刚石膜产业化应用.pdfVIP

浅析CVD金刚石膜的产业化应用 王芸1 王光祖1·2何昌耀1 1 华中集团有限责任公司213016 2郑州磨料磨具磨削研究所450007 摘要：本文所提供的为数不多的事例足以显现CVD金刚石膜在现代科技和工业中的地位和作 用。这仅仅是CVD金刚石膜产业化应用的端倪，更多奥秘有待于人们去探索、去发现、去掌握。同时指 出，尽管目前仍有不少技术难题解决得不十分理想，但CVD金刚石膜的应用范围正在日新月异地扩大。 关键词：CVD金刚石膜产业化应用 O 引言 金刚石是一种典型的多功能超极限材料，在现代科学技术和现代工业的飞速发展中所显现的王者 风范令人神往，在一些重要军事应用领域甚至是不可或缺的。从上个世纪80年代初期，在全球掀起了 一股“金刚石薄膜”热潮¨J。 美国的“星球大战计划”、欧洲的“尤里卡计划”等都把CVD金刚石膜视为关键技术之一。从1988 年CVD金刚石膜被列入国家863计划始，20多年时间里国内外在其研究与产业化方面的进展令人瞩 目。 CVD膜(或涂层)工业化应用是个内涵非常深的大话题，对于准备涉足或已经介人这个技术领域的 人们又是个不可回避的话题。因此，就CVD金剐石膜的工业化应用现状与制约其发展的主要技术问 题，以及对CVD金刚石膜工业化应用谈点看法。 尽管CVD金刚石膜仍有不尽人意之处，但其作为工程材料应用的成效是勿庸置疑的，而且在热、 电、声和光等领域的应用开发同样是大有文章可做的。但我们深知，把这篇内涵丰富、涉及多学科、技术 含量高的文章做好，并非易事。 征途是坎坷的，但并非高不可攀。相信经过工程技术专家们的辛勤耕耘，CVD膜将成为金刚石材 料未来发展的主流。 l CVD金刚石膜的应用现状 一批新兴的CVD金刚石膜生产企业已经在国内外涌现。元素六公司以微波等离子体生长法为主， 主要提供高功率密度电子器件散热片、砂轮修整条及切削刀具用金刚石。美国SP3公司以热丝法为主， 主要生产CVD金刚石膜涂层工具，同时也做一些厚膜刀具、砂轮修整条等。值得一提的是，CVD金刚 石砂轮修整工具方面的应用，在欧美等发达国家已获得普遍认可。 国内在CVD金刚石膜生长技术方面具有代表性的企业有：河北省激光研究所等离子室；北京科技 大学与河北省科院激光技术研究所联合成立的河北普莱斯曼金刚石科技有限公司；北京希波尔科技发 展有限公司；北京希波尔科技发展有限公司与美国Ⅱ一Ⅵ集团股份公司联合成立的廊坊昊博金刚石有限 公司；北京天地东方超硬材料股份有限公司；北京戴姆尔德新材料技术有限公司；深圳雷地科技有限公 司等。 CVD金刚石有四种形态，分别是：(1)纯多晶金刚石厚片；(2)涂层金刚石；(3)单晶金刚石，重达10 克拉，代表着当今宝石级金刚石晶体培育技术的最高水平；(4)纳米金刚石膜。目前国内外纳米金刚石 膜还处于基础研究阶段，应用研究刚刚起步，尚未形成成熟产品，距产业化还有很大距离心】。 纳米金刚石复合膜是在常规金刚石膜的基础上，原位继续生长一层纳米金刚石膜以组成复合涂层， 具有耐磨、附着力强、表面平整光滑、摩擦因数小、易于研磨抛光等特点，不仅解决了涂层附着力这一技 术难题，而且突破了金刚石涂层表面不易抛光这一瓶颈，扫除了金刚石膜产业化的障碍。 ·87· 波CVD技术(直径150mm，厚度2mm)。 与上世纪80年代中期相比金刚石膜的沉积速率提高了近1000倍，制备成本也降到原来的1／1000。 这主要归因于大面积、高生长速率沉积设备和工艺的成功开发，以及对于金刚石化学气相沉积机理的深 入认识。 大面积高热导率金刚石自支撑膜制备的各种热沉片，在我国具有非常明显的成本优势。无论是热 Are PlamaJet 丝CVD，还是高功率DC CVD，价格仅相当于国外的1／2—1／3。 有关专家预测，2000-2010年金刚石膜直接产品市场将超过100亿美元，相当于目前人造金刚石 产品的两倍。 孙方宏等研发的超光滑纳米金刚石膜，大幅提高了硬质合金工具和器件的耐磨性和使用寿命，解决 了常规CVD金刚石膜因表面粗糙、抛光难度大而无法满足实际应用的问题，极大地拓宽了纳米金刚石 膜材