铁电材料在光电子技术领域若干应用.pdfVIP

助 能 材 料 2010年论文集 铁电材料在光电子技术领域的若干应用’ 商景林1，胡古今2 (1．上海市安全生产科学研究所，上海200233； 2．中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海200083) 摘要： 多功能的铁电化合物在光电子技术领域的 2铁电薄膜型非致冷热释电红外探测器 作用日益显著。具有熟释电效应的铁电物质是制作新 一代非致冷型红外探测器的理想材料；利用铁电体的 基于热释电效应工作的红外探测器，可工作于室 电光、声光和非线性光学效应，可构建光开关、功分器、 温、无需特殊的低温致冷设备，在工业自动化检测、安 耦合器、滤波器、倍频器等无源光学元器件或集成光电 全监视和国防军事等领域有广泛应用。然而，采用铁 子器件；特别是近年来发展的铁电光子晶体制备技术 电体材料制作的热释电探测器存在热隔离差、制作工 对推动和拓展铁电氧化物在光子带隙工程领域的应用 艺复杂、成品率低、成本高等不足，限制了其进一步发 展。如果将铁电材料直接沉积在植有读出电路的Si 带来了新的希望。本文简要介绍锆钛酸铅和钛酸锶钡 片上，形成铁电薄膜与Si基读出电路相集成的热释电 两种铁电材料在热释电红外探测器、光波导、光阀开 型红外探测器阵列，不仅可以避免减薄、研磨和抛光等 关、一维光子晶体和光学微腔方面的应用。 工艺流程对探测器性能造成的影响，而且还可提高探 关键词： 铁电材料；光电子技术；红外探测器；光波 测器的灵敏度、响应速度和分辨率。 导；光阀开关；光子晶体；光学微腔 近几年，国内在红外探测器方面的研究取得了显 中图分类号：TN249；TN216文献标识码：A 著进展。刘祚麟等人用射频溅射方法在Pt／Ti／SiO：／ 1 引 言 c／ cm2K的热释电系数。他们通过低温缓冲技术解决了 以光子作为信息和能量载体的光电子技术在信 薄膜的均匀性和一致性问题，利用微细加工技术制作 息、能源、材料、航空航天、生命科学和环境科学中已得 的BST薄膜单元探测器，探测率可达4．93× 到广泛的应用。由于光电子技术追求超快速度、超大 容量以及高密度，要求光电子材料在宏观上具有短的 0。。 响应时间、低维和易集成的特性，在微观上则希望是纳 而褚君浩小组先后攻克了器件制作中的多项关键技 米尺寸的复合体。目前被广泛研究的光电子材料有： 术，制备了256×1元PZT薄膜线列探测器，单元探测 电介质、半导体、生物薄膜、有机高分子聚合物等[1]。 作为多功能的电介质，铁电材料完全能够满足光 电薄膜红外焦平面列阵打下了坚实的基础。其次，他 电子技术发展的要求，它在光通讯领域的成功应用就 们还在国际上首次实现了PZT的低温