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微波集成电路表面处理技术 信志产业尊电子第二十研究所 苗枫 7l伽酯 豫-，i冬走每毒蔫}乏了—种应用皇截嵌纛蠢屯砖瓦其组件上潦曩曲蕾材丹、青工艺技术． 釉‘^是洙矗一薄、致密。遣孵，摩虎曲匀，具有梵痒的高蕞介电挂携和三防性蠢。应用 矗囊睾身2—●G}h曲截蠢即■电端扭件均劈妒建曩方■．运介蛔了n啦嘲侍应用篙田和 田外的应用实例． j喇I啊：气相沉积 二防 微波蛆件 奢囊沣锋h一】f翦砖 当今军事电子设备的发晨趋势是小体积、大功率、高集成化，无论是发射机、接收系 统． 还是天馈线系统．工作频率越来麓高，频带越来越宽．尤其是擞波集成电路．要求 麓度旁，灵t性强，而外界环境对其影响粮天．所{；【采取必要的防护手段筑显褥非常重要． 我所承担鹕■蓉大壁重点工程．．急需要解决擞渡集成屯路方菌的骑护阔曩．1以增强军用电 子设鲁撼巍并翼器劣气候环境的蘸力帮因自身大功奉发热警I起鲷。冷凝辟囔’作用所产生 的不良影响。从而大大提高军用电子设备的可靠性和使用寿鬻。为了辫决遮一阎囊，“九 五”期同田荫科工委已经立项‘电路及电路板豫层技术的研究，递过中期评估，已取得 部分阶段性成果，在我所机载致传／导航蘩鲁谴鲁抽麓甜瓤二b蒋舅龋鳓柏应用，。由于募材 辩单体本身的性能，所以涂层只娩应用在频率小于2GHz的徽波电路及其组件． 对于●蕾集成电骆及其组謦目蔫所麓鬻取构骑护手段囊=两种，一量瞎构密封．即把 舟质●带毫鼍担传密封在一个壳体内与：I}I陌奠曩蘑，避也是羲窘1椎●采用的唯一方法． 这样务必精泰避备棒积增大和重●增加等●系列问曩，一两有些还不■采用雌种方法防护． 二鼍有机蔫I辩簟屠防护娃理．本寓重点从曩辩料摹#∞合鱼。改性静正艺技术等方面介绍 这种方法．、 在冉海战区严蠢舶嵩洋气攘环城条件下，为保证藏廖军用电子设叠和武器装备，具 有毫昀可纛性，糖囊性，。否困环境庸蚀髟■琴造成菲峨斗性。减员。戚摔低武嚣辏甜々准 确度和分辨宰．本研究的主要目曲是为了解决徽波集成电路豆糊伴盼涂晨防护技术．改 善因结构密封防护所引起设备的重量增加和体积增大等同题．在徽波集成电路的溶层防护 方面选斟琥接近田外的先进水平，填朴田内在该领域的空白．使我田军用电子设备的整机 耐候性增强．可靠性增倍，不园某一另部件的防护性能差．而降低整个系统的可靠性．减 少肇肇费用．延长使用寿妇． 冉139 目前我田在军事电子设备方面的发晨无论是白行研制开发，还是研究仿翻．与嗣外基 本保持同步或相差不大．但是在元嚣件和材料．特别在工艺方面落后十到十五年时间．根 据我f】了解到构慨，美军蒜MIL-I删-93规定所筏用的五大舆树斟中it有用真空气 相沉积的方法聚合的超尊茹护涂层，据羹田专利报道，在对_-qg苯环=体上}l入氟元素， 利甩谖成晨方法．备廊典有优异的慧黼护雠和高赣舟奄性娩．对选种麒技木包括含 氟的熏树科、成膜柏工艺技术和麒设鲁，目尊是对疆蕾锞密的．i矛弛年公开的只是 h—，e醅的w、c、D型臻材料以及成簇暧鲁．、在赣波集成电嚣盼防护方面，田外育进行 此类涂覆防护处理的，也有因结构而密封防护处理的． 该气相沉积工艺在曩外巴瞢追应用．田内目黼季港三考公司在北京、上海设育办事 处．经锖美田scs公司的成膜设备及原料，但不负责成赓工艺，且设备价格昂贵．还有 航空系统莱研究所从俄罗斯购买了一套成膜设备，但没有详细的成膜工艺技术，无论是膜 层的外观．还是膜层的内在质量都很不理想．不能满足产品的防护性能要求．我所“九 五”期阀承担的辩工委项目‘电路及电路板的涂层技术)兢悬利用真空气相化学沉积的方 法聚畲麓■畴护造层聚对二甲苯，目首已经在军用电子设备中初步l蓝用，效果良好．但只 用在L波段，这是由于材辩奉身舶介电性能所致．我蛋目前对于徽波集戚电路还没有涂 覆髓护的应用．。九五”期问‘电路及电路扳涂层技术研究的璜哥完成之后也只能应用 在囊奉小于20lIz柏徽波集成电路及箕组件．使涂层适用于工作壤率更高船鞋渡集成电 路．如s渡段和C波段；频带更宽． 由于镶璜研究主要是用于警渡集成奄鼙的三蘅涂覆，为了蕞小滁攫对簟渡电路的损 耗朝表面毋布电荐，在蔫是防护性麓要求的曾提下。要饭到涂层的犀度尽可蓖的苒．而传 统盼濠囊工艺譬—喷、刷、覆的方法，赛达蓟防护睦囊羹求．潦层曲薄座必须在轮-70 u范圈内．丽此时涤层的损耗和分布电饕粳失．严重影响徽渡集成电路的牲娩。以妻