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杨艺髂王效东’解健芳,王渭源,但京铰·
中国科学院E海冶金研究所传感技术国家重点实验室
+中国莽陴院匕j螭台垒研究所离子束开放实验室
【摘要】本文提啦一种金刚石表面微加工技术,用掺杂的金刚石薄膜作结构层,多晶
●
硅薄魄倒西牲层,用氧离子柬刘蚀金刚石薄膜和氢氧化钾腐蚀多晶硅,制成了粱式和叉子
式金刚石薄膜谐振器。文中讨论了工艺上的问题和得到的初步结果。
关键词:金刚石i鞫膜,表面锭咖工技术t镍咖械
一、介绍
作为—种功能材料,金刚石薄膜拥有许多优良的性能,使得它在微机械传感器和执行
器领域有着诱^、的前景。高的热导率可以让金刚石薄膜器件在大功耗的环境工作-—种单
—结构的金刚石加热器和温度传潞已经研制出来n
我们采用表痂微扪翮口工技术制作金剐石薄膜谐振器,用化学气相沉积法合成多晶金
月炳薄膜。由于=金fl删蹴德蚀性,制黜啮!_}去黼蛔谭适用,澎r拨程了许多方法
来解抉这个难题,比j蝴生馏挚~.漩耀强刻鼬I.1,幽西幢离子亥啪妒。虬E方法
aI.嗣和EdodaL‘4报道了采用N20
难以获得器件要求的精细线条和陡直侧壁。E五窟r踟d
或NO,气体刻蚀金荆石薄膜的结果。本文报道制作金剐石薄膜器件的表面微加工技术,
并制作了金月噼淄嚷谐振器。
二、实验
图I为制作金刚石薄膜谐振器的工艺流程。选取重掺杂(电阻率为I.4×10dQ‘cm)、
1
沉积氯化硅黻 ll晶向的硅片作村底,同时作为
下电极。接着用低压化学气相沉积
沉积多晶硅薄膜 (LFCVO)分别沉积021.tin厚的氮化
沉积金刚石薄膜 硅作绝缘屡和2.2I-tm厚的多晶硅作
舞 牺牲层。表面经过直径为0.5}am的
蒸挂铝瞳 金拇《石微粒的研磨处理,目的是为了
增强金刚石的成核密度。用热丝CVD
光燃 法生长2j岫厚的金刚石薄膜,同
时进行掺杂,作上电极。金剐石薄膜
● 的生长条件如下:CH与H2之比为
1%,气压6000Fa,衬底温度800。C,
罂兰!融多肫,碱㈣生长速率l咖_l}1一。接着蒸发0,8)am
厚的铝膜,经光刻、腐蚀形成刻蚀金
口硅一鄹艺硅叠多晶硅圈翎悟●铝 刚石的掩膜。用氧离子柬刻蚀金刚石
甍l制作金翱炻薄膜谐振器工艺流程囤
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