微振动测量的光外差干涉仪.pdfVIP

现代力学测试技术 徽振动测量的光外差千涉仪8 郭广平 计欣华秦玉文’，杜家吉 Ht京航空柑料研究跪A室o。095) (_天津丈学力学系 摘要 光学干涉方法测量微小振动其有非接触、高灵敏度等优点．但常用的光学干涉测量技术只能涮、 嚣振幅和频率恒定的稳态振动．本文建立了一套由光外差干涉仪与计算机数据采集与处理所组成的测拓 系统．该系统能高精度、实时记录振动波形，经频谱分析得到振动的振幅和频牢．该系统的振幅测垂灵 敏度达到纳米量级．通过铡量悬臂粱以及PzT相穆嚣的低频微振动，验证了该系绕的离精度和可靠性。 美键词 光外篾干涉仪振动铡量纳米振幅颤率 一、日1J吾 微振动测量是精密机械、电子行业的一个重要课题。由于坡测物体积小、重量轻、振 幅小，测量极为困难。压电振动传感器的附加质量和；f于加刚度会改变撮动特性、馒结果失 真；电阻应变片法需要～定的粘结面积，也难以应用：而时问平均的全息干涉法和频闪法 等光测技术都要求被测振动是稳定的。因此常规方法在微振动测麓中遇到了很大的困难。 光外差干涉测量技术具有非接触、超高灵敏应的优点，鹏于微振动的测量有独特的优 势【‘M“。我们利用计算机本匀在数据采集与数据处理方面的强大功能，用外差干涉仪与计 臂粱的低频徽振动。 二、光外差干涉测振系统的组成及工作原理[3][4] l、光外羞干涉基本原理 光外差干涉技术与常规干涉技术最大的不同在于l它使用的两求频率略有差别的光进行 干涉。两束频事不同的干涉光用复数形式表示为： 巧(z，y)=。l(z，J，)expf【出lf+破(工，_y)】 … 匕(工，y)=口2(羔，y)expf【础2f+≯2(工，y)] 、1。 那么，干涉场的光强 ，(x，y)=(一十‘)(K+匕)’ 。 、。7 其中△∞=。广桃是两束光的频率差，即拍频，△+=÷广+：是待测相位，含有待溺位移信息。 ’本文工作得到国家自然科学基金资助 ·404· 现代力学涮试技术 臻 常规干涉法中△∞：o，干涉光强分布I与时闽t无关，形成稳定的干涉条纹。测量光强 l可计算出蛳． 光外差干涉中△∞≠O，由(2)可见，干涉光场的任意一点的光强都在以拍 霪 频△∞随时间以正弦方式变化。干涉光场的光强变化经光电探测器转化为与光强对应的电 流(或电压)信号．去掉直流成分得 f。c cos【△甜f+△妒] (3) 潦 选择一个稳定的拍频电信号作为参考，用电子鉴相器能直接测量出上述电信号的相位 鲥，这样，光外差干涉中的相位检测最终转化为拍频电信号的直接相位检测。常规干涉法 的相位检测是通过光强信息得到的。电子鉴相器具有0．19以上的相位测量精度，对应的 位移测量灵敏度优于1nm。因此采用光外差技术能使干涉测量的灵敏度与传统的条纹计数 法相比提高3个数量级左右。 2、光外羞干涉测振系统组成 我们对振动的测量实际上是通过对位移的动态测量得到的。只要测出位移随时问变化 的情况，就可以运用频谱分析方法将振动的频率、振幅和相位等参数计算出来。测试光路 如图l所示。 AOMl H1 x He州e激光器发 出的光经BsJ分为