掺硅非晶碳结构与光学性质的研究.pdfVIP

掺硅非晶碳结构和光学性质的研究 Thestudyofstructureandopticalpropertiesinsilicon-dopedamorphouscarbon 秦苗苗 刘晓晨 张庆峰 刘世民 亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室[燕山大学]，秦皇岛066004 摘要：目前，将非晶碳薄膜作为光学薄膜的实验研究逐渐增多，并取得了良好的预期效果，但很少有从原子尺度进行研 究。本文采用基于密度泛函理论的分子动力学方法，对密度为2.0g/cm3，2.9g/cm3碳结构进行了建模并掺杂，得到的非晶 网络结构从径向分布函数上与实验符合的很好。研究表明，少量的Si掺杂没有引起大的结构改变；Si原子的局域态密度在费 米能级处未形成掺杂态，但带隙变宽，这是由于Si的掺杂使sp2杂化量相对减少。另外，对于密度为2.0g/cm3的非晶碳，在 紫外-可见光-近红外范围内，掺杂少量Si的透过率高于未掺杂的透过率；密度2.9g/cm3的四面体非晶碳，在可见光到近红 外波段内，掺杂Si的透过率先高于后低于未掺杂的透过率。 关键词：非晶碳；Si掺杂；电子态密度；光学性质 Abstract:fornow,therearefewstudiesabouttheamorphouscarbonfilmasopticalthinfilmfromatomicscale,eventhroughits experimentalstudyincreasegraduallyandexpectantresultisreached.Presentthemoleculardynamicmethodbasedondensity functionaltheoryarecarriedouttostudythemodelingandsiliconincorporationinamorphouscarbonwithdifferentdensityof2.0g/ cm3and2.9g/cm3,thesimulatedamorphousnetworkstructureontheradialdistributionfunctionisingoodagreementwiththe expermentaldata.Wefindthatlowsilicondopingdidntinducelargelystructuralchange;thereisnosilicondopingstatesnearFermi level,butthebandgapbecamewider,thisduetosp2hybridizedcarbonatomsrelativelydecreaseassilicondopingin.foradensity of2.0g/cm3ofamorphouscarbon,thetransmittancewithlowsiliconcontentishigherthanthatwithoutsiliconincorporationin theultraviolet-visible-nearinfraredrange;thetransmittancewiththedopedsiliconfirsthigher,thenlowerthanthatnotdopedfor densityof2.9g/cm3tetrahedralamorphouscarboninvisibleandnearinfraredband. Keywords:amorphouscarbon;siliconincorporation;theelectronicdensityofstates;opticalproperties 函理论的分子动力学方法．对密度2．09／cm3和模，我们首先对掺杂量为3．2at％．密度2．99／ 2．99／cm3的碳结构建模，并进行结构和性能的研 究．分析硅的掺杂形态及硅掺杂后对非晶碳的结 算发现t卜c：si中．驴碳原子的含量为81．25％， 构和光学性能的影响． 这与未掺杂前的sp3碳原子的含量56．25％相比． 有明显的差异．表明了低含量的Si掺杂影响sp3杂 2计算方法 化量．而sp3含量的变化影响结构的力学性能．