高品质6061铝合金均匀化工艺的研究.pdfVIP

第十三届中国有色金属学会材料科学与工程合金加工学术研讨会文集(2009) 高品质6061铝合金均匀化工艺研究 牡鹏，李彦利，闺晓东，沈健，张智慧 (北京有色金属研究总院加工．1：程中心，北京100088) 摘要：采用金相观察、扫描l乜镜(SEM)和能谱分析(EDS)研究了均匀化温度和保温时间对商品质6061铝含金铝合 相在560℃／24h仍未发生回溶。6061铝合金适宜的均匀化工艺为560℃／9h。 关键词：6061铝合金；均匀化；hlFeSi；显微组织 A of for studyhomogenizationprocesshigh 6061aluminum quality alloy aluminumarc Abstract：Theeffectsof Ollsecond of 6061 homogenizationphasehighquality alloy electron energydispersive investigatedbyopticalmicroscopy(oM)，scanningmicroscopy(SEM)and resultsshowsthat is dissolvedintomatrixwhenthe spectrum(EDS)．The fully homogenization M92Si conditionis theaoAIFeSiand can’tbedissolvedintomatrixeven 560C／9h，while phase13-AIFeSiphase aluminum the conditionis560。C／24h．The conditionof6061 homogenization homogenization alloy proper is560℃／9h． words：6061 Key alloy：homogenization；A1FeSi；microstructure 半导体设备行业对铝合金材料的要求极为苛刻，以刻蚀机Hj反应室内衬(铝合金部件)为例， 工作过程中要受到高密度等离子体的轰击腐蚀，此外，在定期维护清洗过程中，还要经受包括盐酸、 氢溴酸、氢氟酸、硝酸和氨水等强腐蚀介质的腐蚀…。因此，铝合金部件必须进行严格的表面处理， 形成高性能致密氧化膜，而决定降{极氧化膜质量的关键是铝合金基体中第二相的尺寸和数量。对606l 优先腐蚀，出现莲花状腐蚀坑【2J，A1FeSi因与铝基体的电化学屯位不同，碱洗时促进铝基体的溶解， 出现蚀坑口J。要保证氧化膜的均匀性和连续性，应该严格控制铝合金中M92Si和A1FeSi的数量和尺 寸，而均匀化jr艺可以决定第二相的状态和分布，因此，制定一套合理的均匀化工艺十分必要。 1 实验方法 本实验所用合金为普通半连铸圆铸锭，其直径为220m，实验时取其心部材料切成 25mmx25mmx25mm的小块。本实验所用合金的实测成分示于表1： 表1铸锭的化学成分／Wt％ Table．1 ofthe compositioningots／wt％