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第 37卷 第 2期 红 外 技 术 Vo．1-37 NO．2 2015年 2月 InfraredTechnology Feb． 2015 一 种具有片上补偿功能的红外读出电路 阙隆成，吕 坚，魏林海，周 云，蒋亚东 (电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川I成都 610054) 摘要：针对非制冷红外探测器系统，提出了一种恒流偏置的红外读出电路 (ROIC)，该电路具有衬底 温度补偿功能，且可实现片上偏移非均匀性补偿。基于微测辐射热计等效电阻受 目标温度、衬底温度 等影响的等效模型，每个读出通道采用两个盲电阻以消除衬底温度的影响，同时使用 DAC逐点调节 参考电压，以完成片上偏移非均匀性补偿。该 ROIC应用到阵列大小为320×240的非制冷微测辐射 热计焦平面上，已在CSMC05MIXDDST02的0．5mCMOS标准工艺下成功流试验片。电路测试结 果表明：对于常温 目标，当衬底温度变化60K时，输出电压变化小于500mV；经偏移非均匀性补偿 后，阵列的固定图像噪声为 11．8mV。该ROIC适用于应用于复杂温度环境的高均匀性非制冷红外探 测器 。 关键词：微测辐射热计；读出电路；衬底温度补偿；非均匀性补偿 中图分类号：TN432 文献标识码：A 文章编号：1001．8891(2015)02—0101—04 AnInfraredReadoutCircuitwithOn·chipCompensation QUELong—cheng，LYUJian，WEILin-hai，ZHOUYun，JIANGYa—dong (StatekeyLaboratoryofElectronicThin andIntegratedDevices， UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina(UESTC)，Chengdu610054，China) Abstract：ThisPaDerdescfibes a constantcurrent—biased readoutcircuitwith substratetemperature compensationandnon．．uniformitycompensationfortheuncooledmicro．．bolometerdetector．Theinfluenceof temperature forhte equivalentresistanceofmicro．bolometerisevaluated．Then an effectiveway for substratetemperaturecompensationisproposed，whichutilizestwoblindmicro-bolometersineachreadout circuitchanne1．Onhteotherhand，thenon．uniformitycompensationiSalsoachievedbya5bitson．chip DAC．A 320×240uncooledmicro．bolometerfocalplanearray (FPA)basedontheproposedcircuitwas implemented on silicon by 0．5 m CM OS technology．Themeasurementdata show thatthemaximum differenceofanormaltemperautreobjectover60Ksubstrateofwhichtemperaturechangeisonly500mV andthefixedpa~ernnoise (FPN) islessthan l1．8mV．Thusitisideally suitedofrhighperofrmance prod