微靶半自动装配技术的研究.pdfVIP

微靶半自动装配技术研究 吴文荣黄丽珍岁敏杨淑娟下红莲 (巾国I。程物理研究院激光聚变研究中心四J|l绵日f621900) 惯性约束聚变实验微靶的装配是靶制备过程巾的天键工序，其精度直接影 响物蹦·实验结果的精度和可靠性。住08年前I卅外研究丰日关资料报告很少，但在 “18th Fabrication Target Meeting”。{1计{现了大幂针对点火靶装配的自动／半自动 装配系统的技术报告，美国的微靶装配己进入自动／半自动时代。而我国同前的 靶装配主要采j{}j手工装配方式，微靶自动装配技术j_±；处J‘起步阶段。 在微靶半自动装配技术主要包括：微操作技术、微夹持技术、在线检测技 术、微装配等。本文主要在微夹持、显微图像在线检测、半自动装配系统等方 而开展了研究。针对半自动装配系统中微靶零件的同定与无损夹持，初步开展 了靶零件微央持技术研究，设计r牡丁凹连杆机构原理的柱腔微夹持器和基于 真空吸附原理的台阶样品作业工具，如图2所示； 虱 日一母。 }●‰黼 鏖霜e守 “妇[固 l刳1微靶白动装配实验平台 图2真空吸附夹持器1，小}U式夹持器结构 在周家“863”高技术项H支持卜，研制了微靶自动装配实验、r台(如图I)， 该甲台包括4自由度二操作微操作平台和显微图像榆测．具有装配过程显微在 线检测、柱腔单自由，!!!：姿态调整及运动平台的精确控制等功能，系统移动精度： 移动分辨率：2．5／．tin，旋转精度：三0 05。，位胃柃测精度曼1像素(59m)，角度 检测精度SO．10。为提高内爆靶装配精度，正在研制由三操作手组成的ICF微靶 半自动装配系统，可实现在线位置检测、姿态调整、靶零件自动传送、自动涂 本系统将于2009年研制完成。 本文研制的微靶自动装配实验平台，首次采用显微图像检测方式实现了冲 击波靶、内爆靶装配过程中靶零件的在线检测，检测精度Sl像素，可用于进行 多种ICF靶自动装配工艺实验和关键技术可行性实验；靶零件微夹持技术、显 微图像检测技术等研究为自动装配技术研究和实际应用系统的开发奠定了技术 理论基础。