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多系统片上集成技术在微纳卫星综合电子系统的应 用 兰利东。权海洋 00076) (!制东权海洋北京微电干技术研究所北京市丰台Ⅱ东高地四营『1北路2号1 摘要:本土重点从微小卫星应用需求出发,采用罗系统片上集成技术对微小型卫星的设计进 行优化和政进。{l用多种Ic集成技术结合软件设计,开展基于硅月上的多系统H上集成技 术研究,并最终实现微十型卫星的十型化、一体化标准化设计.为微十型卫星十体积、低 功耗.高集成度和高性能提供一种新的设计思路. 3D—McMCo—desi 关键词:撒蚋卫星;系统H上集成00C gn、MEMS,一体化软件平台 AbstractThis of gapermainlyfromsmallmtellit+applicationmqaimmem,thesystem onthesmallsategde integrationtechnologyoptimizeandimpurethedesignUseDuoZhongIC soRwamand oBtonthe ba%donsilicon integrationt∞hnologywiththedesigncarry symem ofminiatum chipsofintegrationtechnologym…handfinallyrealizetheminiaturization andstandardized studsatellitesmallsizelow satellites.integrationdesignforthe power bevel and oHeBanew consumptionhigh ofintegrationhighgetfo—nce designldeas Ranosatelliteofthe TheSoC3DMCMCo geywords:micromany symemintegration design would MEMS-integrationson…platfom 现代微纳l!单的发胜主要特点是高功能南度、钮}制刷蝴、晁活廉价的蛙射打式、叮批 生J“等,从而大大降低成本,满足多样化需求。随着微IU+r}£术旧发腰.为小卫星艇腱特别 是微纳1’早、皮pj^提0}必坚的技术基础。利川人舰饪集h览电路·I·的SoC设¨思想,小仪 将机械翔i件利IIJ MEMS技术吱脱井架成存砘片内椰+晰¨把传堪器、微处理器以搜托它fU 学,光学和微机械系统集成r个3D封城内部,形h览具f『特定功能的光{;_L电体化卫星电 r系统。返利,基于多系统¨I.集成技术的集r},式设}l打法,可咀f£装嵩‘轻巧降Ⅲ,人幅提高 系统nr锥性,而¨采用专用壤成lU路批睦生,叫女术,rⅡ以Ⅲ州J艺制作成Tl。“个装置. !“$g^nLnu币 “11BE0284 从而叫显降低做纳13星址H目冲#的j盘价。 纳米卫足概念足篮田也1993年提出的,纳米卫星概念以微机电(MEMS)技术和山数 个MEMS自l成的壤成微型仪器(ASIM)山荜础.Ij早醺醋小r IOKg。以芰困防部高绒研 究LI划J≈(DARpA)为首的1打“埘小m1的发胜寄rJ4掣,DARPA辞‘h山小l’艟技胜投 新“划”年兀新盛Ittil划’等系列小】o城笸胜¨划。 黟虿 阿I美固埽新纳卫曜系

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