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第三届中国在线分析仪器应用及发展国际论坛论文集
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离轴积分腔输出光谱仪在天然气
微量1-12S测量中的应用
俞大海1，顾海涛1，李鹰1，
(1．聚光科技(杭州)股份有限公司，浙江杭州310052)
摘要：结合离轴积分腔输出光谱技术和激光调制吸收光谱技术，对0-20ppm量程的微量H2S
进行了测量。该仪器采用离轴激光束入射技术，解决了腔模匹配问题，结构上避免了压电陶瓷等器
件。结合高灵敏度的激光调制吸收光谱技术，提高了仪器的探测灵敏度。实验表明对0-20ppm量程
o)，线性误差小于±1％F．S．，可以满足石油化工和天然气输送
的H2S测量重复性可达0．303ppm(3
管网中对微量H2S的检测要求。
关键词：离轴积分腔输出光谱，激光调制，微量H2S
Off-axis forthe
IntegratedCavityOutputSpectrometer
DerectionofMinorH2SinNaturalGas
YU
Dahai，GUHaitao，LIYing,CHENYingbin
(Focused 310052，China)
Photonics(Hangzhou)，Inc．，Hangzhou
Abstract：H2SwiththeconcentrationofO一20 ismeasured theoff-axis
ppm byintegrating integrated
andlasermodulation laser
cavityoutput absorptionspectroscopytechnique．Off-axisinjection
spectroscopy
isusedtosolvethe of mode the saved．
devices，like
technique problemcavity matching．And piezo，is
Thedetection is thetwo indicatesthatthe
sensitivityimprovedbycombiningtechniques．Theexperiment
measurementof0-20 thatthe
measurementis toO．303 the
o)with range ppm，and
repetitionup ppm(3
isless meetsthedetection ofminorH2Sin and
error than±1％F．S．．It
linearity requirement petrolchemical
ofnatural
shippi
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