原创力文档- 1、本文档共1页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
E．0ll
有机无氰镀银体系及添加剂作用机理研究
壁、璺臣，向统勘谢步高，捌建军
福蚋大学化学他I学麓．福建，镐：_l_，3500，12 cdHcn
E-mail：彬unaj=u
金属化是半导体芯片制造中r个非常重耍的工艺过程。在这个过程甲，芯片内岢一的一些元件和结
构单元，通过金属布线束连接集成在起，而过些是金属市线在芯片上曲一象彖微内造中沉积得到
的．目前王要的金属布线是由铜姐氍妁：与{嗣均比，锯具有爱好的导电-陛能，随着计算机技术发展
的需要，韫必将成为新一代的布线台属。
以镀银体系溶剂种粪可将其舟为胄机(非水)糖银雄茉，水体导及两相或笋柏体系，目前对徽沟道
镀银的研究主要集中在承体系．如已有报道越蒋化钽钾作为王盏，以硒氰汜钾作为健进刑在芯片懒
沟遁内超等厚沉积银“。由于檄沟道的宽度正往几十^‘纳米万向发展，而由有机镀银体系可以获并
比水体系小的多的钽粒子硅，旧雨罩用有机镀银体系也可能是德均道镀银的一个发展方向+在己有
anBI
的x献拇适中．但有hI air有提到采用氟化银为主盐，N，N二甲基甲酰胺(DMF)为滓荆的有机
镀银体系。1 然而其并未给出详细的研究内舂．
车研宽正是以氯化银为主盐，硫瓤为络台别NH二甲墓甲酰胺为藩荆的有机镀银体系为研究对
象，考察其本身的基本性质并研究喜种瘁加剂在其中的作用。蜜验发现DMF镀银体系可以迅速的置换
出铜层．并且获得光亮的讯层．熟而由电镀譬验却并千能获得光亮银层，而是得到表面覆盖一层白
色物质，内层光亮的镀层仅在加^半胱瞎酸才能获得光亮银层．
由阴极极化曲线可眦霜出，加入芈觥蒋酸对雌兼并没有促进戎抑制作用，半胱胺酶的作用应该是
暧附在电极袁面，使得银络和高子里均匀的沉积在电顿表面．由竞流阻抗实验也可证明半胱胺鳆青
吸附在电板表面。
围l是铜片在DMF镀银体系进行电镀窭验后的得到镀层曲扫描电镜围。实验采用999％铜片在经由打
磨，酸冼，洗洁精浸泡，二次东冲沈后，在DMF镀银体系以06V(参比电极为钷电极直接浸入溶液中，
对电极为银片电极J电镀200s．由圈可看出所获得的银粒子簇直径在4onm左右。
一
圈IDMF镀银体系平面电镀表面银层扫描电镜圉
withDMFas
1 TheSEMofsuflicesilver for insliver bath solvent
Fig layerplanplating plating
参考文献
『1 PMoft-ata arIdSolid—State
J13 Wheeler,D Electr∞hemical
C13ak目，CWitl，D Jo靶[I，andT
Alan131airMetal r
12J Finishing．一20009s(1)，298
Sun
JinhuaiChert，BugaoXie．TonglingXiang，Jiaajun
(Collegeo，Chem＆Chem
文档评论（0）