液态感光抗蚀抗电镀油墨(二).pdfVIP

维普资讯 液态感光抗蚀 抗电镀油墨 李春甫 J ．、 二 杂 ，主要是影响膜层厚度 的因素太 体含量 S，则公式为 ： 畦 ● 与 灌 胍 啊 度 多： Ft ·25％ ·S 日口关 系 a．刮 板的硬度 ； 然 后再 去考虑 以上所提 出的 b．操 作时 ，刮板和 承 印物 的 三个变量 ，在三个变量 中，刮板软 夹角 大小 ； 印得就厚 ；刮板和承印物 的夹角 湿膜 最突 出的特 点之一就是 c．刮板运行的速度及用力大小； 小印得就 厚 ；网印时速度慢就 厚 ， 通过 网印手段 (包括辊涂 、帘涂和 d 丝 网的厚度 ． 用力大也 厚 喷涂)控 制湿膜 的厚度 ，但在 网印 e 印料 的固体含量 。 所 以 ，公式计 算后还 要考虑 中也和 网印普通 图形有所 区别 在上述 五项 因素 中前三 项均 三个 变量 给湿 膜厚度 带来 的影 丝 网 的选 择 ：(1)应选尼 龙丝 为变量 ．只有第 四、五项为恒 量 ， 响 ，一般 情况 下 ，大 都 印得较薄 ． 网 ．它不仅 有很好的平 滑 _生和较 所 以在计 算时也 只能 以两 项恒 量 所 以还要求最后 的数值乘 以一个 好 的弹性 ，较小 的磨擦 系数 ，刮印 作依据 ， 变量 因素 系数 (大 约为 80％ ～ 时省力且价格 便宜 。 在正 常手 工操 作 中，印在 承 85％】。 (2)操作 ：金版 空网(无图形) 印物 上 的湿 膜仅 有 丝 网厚度 的 以国产湿膜 P2]08为例 ，从 印 ，表2列 出不 同产品所需掩膜的 25％左 右 ，设丝 网厚度 为 Ft(此 图 8可看 出光 能量 与湿膜 厚度 的 一 般厚度 。 数据 可在 丝 网说 明书 资料 中查 关系 ，光能量和湿膜 的厚度成正 要 获得较 厚 的膜 层需使用低 到 】， 目数 的丝 网，丝 网 目数和 印在 版 那 么 印后留在 版上 的油 墨 只 以国产湿膜P2]08为例 从表 上的油墨厚度成反比，见图 7 有Ft25％，这 是没有经过烘干 的 3和 图9可看出湿膜的曝光能量 与 一 幞层厚度的侧 算 湿 疃 ，烘干 后 ，湿 噤的溶剂挥 发 只 感光度的美系 。 网印膜 层厚度的计算 比较 复 剩 固体 ，所 以Ft 25％还将 乘 以固 仍以P2018为例看其在不 同 曝光能量下 的解像性 ， 表4和 图 10 表 2 产品掩膜厚度 湿膜厚度 (干后)“in 产 品范 围 细 线 条 的 啊 20 大规模集成 电路框架 和 _ 响 阻 脯 15～20 标牌 、面板或单面板 10～15 多层板 内层或单面板 8～l0 栅 网、螺旋线、弹簧片、金属画、单面板 无论 是单面板还 是双面板或