氧分压对工业纯铁等离子注入和氮化的影响.pdfVIP

氧分压对工业纯铁等离子注入及氮化的影响 包娟娟1刽 晛1苏永要1孙 鸿 1白彬2张鹏程2冷永祥1 黄楠1 1西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室，材料科学与工程学院，四川成都610031 2表面物理与化学国家重点实验室，四川江油621700 摘要：前期工作中，我们采用氮气高频低压等离子体浸没离子注入(HLPⅢ)氮化技术大幅度提高了工业纯铁的 力学性能及耐腐蚀性，为了研究在低真空条件下利用HLPⅢ氮化技术对工业纯铁表面改性，降低处理成本，促进 工业纯铁HLPⅢ氮化技术的工业应用，本文研究了基底真空 （残余氧气）对纯铁高频低压等离子浸没离子注入及 氮化的影响，在注入及氮化过程中通入少量氧气，人为降低设备的基底真空度 （增加真空室中残余氧气）。通过X 射线衍射 (XRD)分析了HLPⅢ氮化前后工业纯铁表面的相结构；利用显微硬度和销盘式摩擦磨损实验评价了改 性前后工业纯铁的硬度及耐磨性等机械性能；在0.9％ NaCl溶液中进行电化学腐蚀实验评价了改性后工业纯铁的 耐腐蚀性。研究结果表明，与在高基底真空度下 （未人为通入氧气）进行等离子体浸没离子注入(HLPⅢ)氮化 的样品相比，当通入氧气分压较小时(＜6.5×10-3Pa)，残余氧的存在不影响氮化层的结构成分和性能，表面改 性层主要由Fe2N和Fe3N相组成，样品具有高的硬度、耐磨性和耐腐蚀性；但是，随着氧气分压的增大(＞9.4× 10-3pa)，样品表面的相结构由Fe2N和Fe3N的混合相向Fe3N和Fe3O4的混合相转变，硬度和耐磨性降低，耐腐 蚀性下降，说明采用氮气高频低压等离子体浸没离子注入(HLPⅢ)氮化技术对纯铁表面处理，要保证真空室中 残余氧气分压小于6.5×10-3Pa。 关键词：高频低压等离子体浸没离子注入；工业纯铁；氧分压；摩擦磨损性能；耐腐蚀性 Industrialpureironmodifiedbynitrogenplasmaimmersion ionimplantationatdifferentoxygenpartialpressure BAOJuanjuan1GUIXian1 SUYongyao1 SUNHong1 BAIBin2 ZHANGPengcheng2LENGYongxiang1,HUANGNan1 1KeyLaboratoryforAdvancedTechnologiesofMaterials,MinistryofEducation,SchoolofMaterials ScienceandEngineering,SouthwestJiaotongUniversity,Chengdu610031SichuanChina; 2StateKeyLaboratoryofPhysicalChemistryofSurface,Jiangyou621700,Sichuan,China Abstract:Inourpreviouswork,nitridinglayerwaspreparedonironbyHighfrequencyandlowvoltageplasmaimmersion ionimplantation(HLPⅢ),whichimprovemechanicalpropertyandcorrosionresistancofindustrialpureiron.Inordertore ducethetreatmentcostoftheironnitridingandpromotetheapplicationofHLPⅢ nitridingtechnologyinindustrialarea,the microstructureandpropertiesofnitridinglayersynthesizedlowervacuum(highO2partialpressure)werestudied.Theoxygen wasinletintovacuumchamberintheprocessofHLPⅢ nitridingtodecreasetheequipmentbasevacuum(increasedtheO2 partialpressure).ThemicrostructureofthenitridingTheoxygenwasinletintovacuumchamberintheprocessofHLPⅢ ni tridingto