干涉检测数据抗振动影响的方法研究.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 干涉检测数据抗振动影响的方法研究 1 2 陈 伟 ，伍 凡 ( 1. 西安科技大学 通信与信息工程学院，陕西 西安 710054 ； 2 . 中国科学院光 电技术研究所，四川 成都 10209) 摘要 ：在光学元件的抛光阶段，通常采用干涉仪检测光学元件 的面形数据 ，对加工工作提供指 导意见。移相干涉术易受环境振动的干扰，获得的波前相位的干涉图信息不完整 ，难以准确给出光学元 件表面的干涉数据。为 了利用干涉仪检测数据给出被测光学元件面形上的各点准确数据 ，采用等精度 测量消除随机误差的方法 ，对多次检测数据求取平均值以获取被测光学元件面形的准确数据。针对 一块 Φ1 200 mm 口径 的圆形光学元件的实验表明这种方法可 以较为有效地消除检测中振动因素的影 响。 关键词 ：光学检测； 抗振动 ； 非球面镜 中图分类号：TN24 7 文献标识码 ：A 文章编号：1007-227 (2008)增( 几何量) -0230-04 Met hod of vibr ation r esista nce in inter fer ometr ic testing 1 2 CHEN Wei ，WU Fan （1.School of Communic ation and Informati on Engi ne ering, Xian University of Scienc e and Technology , X ian 7 10054, Chi na ; 2 .Instit ute of Opt ics and Electronics, Chinese Aca demy of Sci enc es, Chengdu 10209,China) Ab st r act : As a rule, Interferometers are used t o test the figure in the p olishing phase of optical component, it could provide advance tutor suggestion for manufacturin g. It is unab le to get the whole wave-front interferogram usually because phase-shift Interferometry is sensitive to environment vibration, so the exactly interference data of the optical surface could not be obtained. Various spatial p oint on the tested optical compon ent wil l be given by calculation method about arithmetic average valu e of equal