基于阳极键合工艺微型气室封装.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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基于阳极键合工艺微型气室封装.pdf

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中国真空学会质谱分析与检漏专业委员舍第十四届年会·中国计量测试学会真空计量专业委员会第九届年会基于阳极键合工艺的微型气室封装焦洁，苏娟，郭等柱+，张耽民，汪中北京大学信息科学技术学院，北京100871 摘要：裰型气室的制作是微型原于钟和微磁力计等器件研韶j中不可或缺的是键技术．国际上R有为数不多的一些研究机构在^L事适方面研究工作，国内目前还没有相关研究报道．我们课题姐承担7863项目的相关课题，在微型气室的制作i面开展7探索性研究．基于日枫键告技术，我们设计了专用的真空封装设备，在打孔硅片的一面先键台了Pvr“ 3,5mm3体积的微型气富封装．氯质谱检漏结果曼示，总漏率玻璃，克气后再在另外一面犍告Pyrex玻璃，从自实现T 小5-20×10圳parn3／s。据此估算，微型气室的寿命长于41天，能够满足观阶段的实验要求．关键词：阳极键合，封装，擞型气室，原于钟 educn 4通讯作者：郭等柱．电话和传真010Emaih guodz@pku