膜技术在多晶硅生产和硅晶片研磨废水处理中应用.pdfVIP

·192· 第三届膜分离技术在冶金工业中应用研讨会论文集 2009年10月 膜技术在多晶硅生产和硅晶片研磨 废水处理中的应用 程兆鹏 (上海集策膜技术工程有限公司，上海201100) 摘要：膜技术具有出水水质好、占地面积小、操作简单、安全环保等等诸多优点，在当前我国 水资源污染短缺、污染严重的情况下，结合膜技术处理多晶硅生产和研磨废水后水回用可达到 极好的社会效益和环境效益． 关键词：膜技术；管式膜；多晶硅废水；水回用 中图分类号：T(如28．8文献标识码：B 多晶硅生产和研磨过程中产生的废水水量较 2)品质稳定性好：膜设备本身没有运动的部 大、传统方法处理后出水的有毒有害金属离子、氟等 件，工作温度又在室温附近，所以很少需要维护，可 不能稳定达标，对水资源环境造成的污染日益严重， 靠度很高． 同时由于我国水资源时空分布极不均匀，随着城市 3)纯物理过程：膜分离是纯物理过程，不会发 用水量的逐渐增大，水资源短缺越来越严重，如处理 生任何的化学变化，更不需要外加任何物质，如助滤 后水直接排放，浪费了宝贵的水资源．水回用势在必 剂、化学试剂等． 行，水回用具有极高的社会效益和环境效益，它一方 4)在室温附近工作：多数膜分离过程的工作温 面可以减少环境排污量，减少环境污染；另一方面它 度在室温附近，因而膜本身对热过敏物质的处理就 又能减少对水资源的开采，对我国长远的国民经济 具有独特的优势． 发展具有深刻的意义．我公司推荐结合传统工艺使 5)连续化操作：膜分离过程可实现连续化生产 用管式膜应用在多晶硅生产和研磨废水处理后，出 过程，它的操作非常简便，设备启动时间短，可以在 水水质稳定，水可直接回用，也可作为反渗透预处理 频繁的启、停状态下工作．相比传统工艺可显著缩短 制纯水． 生产周期，满足工业化生产的实际需要． 6)灵活性强：膜设备的规模和处理能力可变， 1膜分离技术 易于工业逐级放大推广应用．膜分离装置可以直接 膜分离技术是近几十年发展起来的高新技术， 插入已有的生产工艺中，易与其它分离过程结合，方 这些年发展尤为迅速．膜的分离简单地说就是筛分， 便进行原有工艺改建和上下工艺整合． 就是利用膜表面孔的机械筛分的原理，将不同大小 7)能耗较低：膜的分离过程基本上不发生相的 的物质分离开，达到分离的目的．膜表面孔的大小最 变化，所需能耗不高． 大也只有微米级，最小只有纳米级． 8)环保：膜分离设备制作材质清洁、环保，工作 膜分离过程是一个高效、环保的分离过程，与传 现场清洁卫生，符合国家产业政策． 统的分离技术相比，具有较多的优势． 2管式膜优势 1)可实现精密分离：它可以做到将相对分子量 为几千甚至几百的物质进行分离(相应的颗粒大小 使用管式膜技术处理多晶硅生产和研磨废水就 为纳米级)． 是通过管式膜将欲去除物质与水分离．管式膜组紧 收稿日期：2009—08—17 论文集 程兆鹏：膜技术在多晶硅生产和硅晶片研磨废水处理中的应用