基于MTF的显微物镜景深的仿真测量.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 基于 MTF 的显微物镜景深的仿真测量 韩海媚，萧泽新 （桂林 电子科技大学 机 电工程学院，广西 桂林 54 1004 ） 摘要 ：介绍 了一种基于 MTF 的显微物镜景深仿真测量方法 。将光学设计 CAD 软件 中评价像质 的光学传递函数 MTF 移植用于景深仿真测量之中。即人为设置离焦方式，通过增大或减小物镜工 作距离来察看显微物镜的 MTF 值改变情况，当 MTF 值 降低到一定程度刚刚不能满足成像质量要求 时，该工作距离即临界最大或临界最小工作距离，两者差值即为显微物镜景深仿真测量值 。 关键词：景深 ； 仿真 ； 光学传函； 离焦 中图分类号：TB96 文献标识码 ：A 文章编号：1007-2276(2008 增(几何量 -03 12-04 Simu la tion measur ement of obj ect len s b ased on MTF HAN Hai-mei, XIAO Ze-xin （School of Mechanic al ＆El ectr ica l Engine er ing, Guilin Uni versity of Electroni c Technology，Guilin 54 1004 ，China） Abst r act ：A simulation measurement of obj ect lens based on the MTF is prop osed, whi ch is on e of the innovation points. C oncretely, th e optics transfer function MTF, used in evaluatin g image quality in optical desi gn CAD software, is u sed to simulate measure the depth of fiel d. It is a man-ma de defocusin g, through chan ging the workin g distance of micro obj ect len s to ob serve the MTF situation, when the MTF value reduces to th e determined valu e, wh ich cou ld not satisfy the image qualit y requirement, this working distance is the critical max imum or the critical minimum workin g distan ce, the difference value between the two kinds distance named depth of simulation observed value of micro objective lens. Key word s: Depth of field; Simulation; Optics transfer function; Defocus 0 引 言 文 中提 出了一种景深的测量方法：利用光学设 计软件 OSLO 的像质评价函数 MTF[1] ，将 已设计好 景深是显微物镜重要参数之一。在现代二维高