ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用.pdfVIP

ZEISS扫描电镜特点及在失效分析中的应用 i1 傅国如 北京航空工程技术研究中心，北京100076 张顺勇 励精科技(上海)有限公司，上海200031 摘要ZEISS扫描电子显微镜的研究与生产具有悠久的历史，其先进的结构设计、卓越的 技术性能为世人所瞩目。ZEISS扫描电镜的高分辨、低电压性能、低真空模式等特点，解决了失 效分析和材料研究中纳米材料等新材料对分辨率要求高、不导电材料和含水材料成像性能差的技 术难题，得到了广泛的应用。 关键词扫描电镜失效分析 材料、生物、地矿、化工、生命科学等各种分析研究中具有广泛的应用。 ZEISS不断追求、推出新的技术和新的产品，使其成为不仅可拍摄高分辨率图像，还可 以完成各种各样的分析研究，更加体现ZEISS电子显微镜的高价值和高利用性。 1 ZEISS扫描电子显微镜的特点 1．1 悠久的电子显微镜研究及生产历史 ZEISS公司具有悠久的电镜研究、生产历史，在世界上一直处于领先地位。 Nano DivisionofCarlZeiss 当今的ZEISS公司纳米技术系统分部(The TechnologySystems 电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一： ·第一台静电式TEM(1949) ·第一台商用SEM(1965) ·第一台全数字SEM(1985) · 第一台带有成像滤波器的TEM(1992) · 第一台可变压力FE—SEM(2001) ·第一台具有Koehler照明的200kVFEEFFEM(2003) · 第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的EFTEM(2003) and 扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIBSEM)、透射电子显微镜等产品生产能力的专 业厂家，其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已为全世界广大用户所公认。 1．2先进的仪器结构设计 ZEISS扫描电镜采用通用的镜体设计，可配备各种不同的附件，适应各种分析的需要；并具 有灵活的可升级性，可按照用户研究工作发展的需要进行升级。各种类型的扫描电镜均有高真空、 526 低真空(或超低真空)型号，以满足不同样品检测的需要。 器，具有最佳的灵敏度和最高的接收效率，而且只接收来自样品表面的二次电子，因此具有业界 最高等级的分辨率和图像质量。 ZEISS最新一代场发射扫描电镜将二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束 光路上，试样的工作距离不受背散射探测器的影响，可以非常接近极靴，这样可以同时获得最高 的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率，且接收的背散射电子的能量可以控制。 SEM的高分辨和FIB的加工精度之间相互没有影响。 1．3卓越的技术性能 压性能。能够满足失效分析、纳米材料研究等方面的需要。 (2)大样品室。ZEISS扫描电镜具有世界上最大的样品室，方便各种大样品的分析。 空速度快、无污染、免维护是其最大的优势。还可提供无油的真空系统。 (4)自动化操作。新型的扫描电镜全部采用当前最先进的计算机集成自动化控制，采用 马达驱动，软件功能强大，操作非常简单和方便。 0．2％／h。镜筒、分子泵、电路板均采用了水冷，保证了其工作的稳定与可靠。做工的精湛，工艺 的考究，也为世界之首。 1．4全面的成像解决方案 ZEISS的钨灯丝扫描电镜可以提供高真空、低真空和超低真空工作模式，场发射扫描电镜可 提供高真空和低真空工作模式，对任何材料都没有局限性，满足金属、陶瓷、地矿、化工、半导 体、生命科学等所有研究领域需要。其超大样品室预留足够端口，可搭配能谱、波谱、背散射电 子衍射、阴极荧光等，样品台可装加热台、冷却台和拉伸台以满足各种研究需要。最新一代的钨 灯丝扫描电镜还可集成X射线荧光激发器和拉曼光谱仪。其大束流和优异的束流