基于复合靶制备Ti-DLC薄膜的研究.pdfVIP

·420 · 材料导报 2008年5月第22卷专辑X 基于复合靶制备Ti —DLC薄膜的研究 李传志，徐均琪，严一心 ( 西安- I - 业大学 陕西省薄膜技术与光电检测重 点实验室，西安710032) ．摘要 利用非平衡磁控溅射技术溅射复合靶制备 了一系列掺杂金属元素钛 的类金刚石膜，并对薄膜 的机械性 能、沉积速率、电学性能及化学性 能进行 了测试，主要分析了影 响机械性能、沉积速率 的主要参数并确定了最佳工艺参 数，同时 阐述了其电学性能及化学性能结果。 关键词 非平衡磁控溅射钛掺杂复合靶正交实验 St udy of Pr epar at i on of Ti - ont ai ned DLCFi l m Ba se d on Composi t e Tar g et s LI Chuanzhi ，XU Junqi ，YAN Yi xi n ( Sha anx i Pr ovi n e Thi n Fi l m Te hn ol ogy an d Opt i al Test Open Key Labor a t or y ， Xi ’an Te hn ol og i a l Uni ver si t y 。Xi ’an 7100 32 ) Abs t r a t Ti - on t ai ne d di amond- l i k e a r bon f i l ms( Ti - DLC) ar e dep osi t ed by UBMSt e h nol ogy wi t h ompos — i t e t ar get s ．The me h ani a l an d t r i bol ogi al pr oper t i es ，t he des posi t i on r at e of f i lms ，e l e t r i a l pr ope r t i es and i t s ant i - er o— s i on pr oper t y ar e t es t ed．The opt i mum pa r a met er s ar e de t e r mi ne d t hr ou gh t he t e st and anal ys i s of t he me h ani a l and t r i bologi al pr o per t i es ．Me anwhi l e ，t he r e s ul t s of e l e t r i al pr oper t i es a nd ant i - er os i on pr oper t y ar e shown ． Ke y wor ds unba l a n d magnet r on sput t e r i ng( UBMS) ，Ti - dop i n g， omp os i t e t ar ge t s ，or t hog onal e xpe r i me nt 类金 刚石膜( Di amond- l i ke ar bon．DLC) 具有良好的摩擦性 测试，测试力选取245mN，维 氏标尺为HV0 ．05，保荷时间为 能，极高的硬度和优异的抗磨损、耐腐蚀性能；在红外 区具有很 15s ；对每个样品选取3个点进行测试 ，再取平均值作为硬度测 高的光谱透过率，在许多领域中都有着广泛的应用。然而 ，DLC 试结果，然后算出各 自的本征硬度 。将Ti - DLC薄膜分别置于 薄膜的应用在一定程度上仍然受到限制，这主要是由于薄膜内 酸、碱