基于光杠杆原理测量压电陶瓷压电特性的方法.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 基于光杠杆原理测量压 电陶瓷压电特性的方法 潘在友，刘惠兰，冯丽爽 ，邢济武 （北京航空航天大学 仪器科学与光 电工程学院， 北京 100083 ） 摘要: 提出了一种基于光杠杆原理测量压 电陶瓷伸长量，对压电陶瓷压 电特性进行检测验证 的 方法 。该方法不需要专门的测量仪器 ，采用常用 的材料搭建简便的光路，运用光杠杆原理通过对反 射光斑位移 的测量，测得不 同的电压驱动时压 电陶瓷相应 的伸长量 。文中介绍 了光路 的搭建，并且 对相应的实验数据进行处理和分析。结果显示，在外加电压为 0~60 V 之间，所取的 6 个点所测 的压 电陶瓷的伸长量与厂家给 出相应参数基本相符 ，满足实验室对压电陶瓷压 电特性测定的要求。 关键词: 光杠杆原理 ； 压电陶瓷； 压电特性 中图分类号：TB 21 文献标识码 ：A 文章编号：1007-2276(2008)增( 几何量) -01 6-04 Test in g met h od of dila tion of th e piezoelectr ic cer amics b a sed on optical lever th eor y PAN Zai-you, LIU Hui-lan, FENG Li-shuang, XING Ji-wu ( School of Inst rument Sc ience and Opto-el ect ronic s Engineer ing, Bei hang University, Beij ing 100083, China) Ab st r act ：A testing method based on optical lever th eory for the measurement of th e piezoelectric property of t he piezoelectric cera mics (PZT) is presented. The met hod uses ordinary materials an d apparatus to form light path . It can measure the micro dilation of the PZT by measuring t he displacement of the reflected light spot. The light p ath is built and the experimental data are analyzed. The results of the PZT dilation accorded with the factory parameters. The method is simple and convenient and satisfies the requirement of the measurement of the piezoelectric property of PZT. Key wor d s: Optical lever theory ； Piezoelectric ceramics(PZT)； Piezoelectric property 0 引 言 的科研机构在进行技术研究时需要对购买的压 电陶 瓷压电特性进行验证 ，但 由于压电陶瓷逆压 电效应所