白光共焦三维形貌仪在表面工程研究应用.pdfVIP

第七届全国表面工程学术会议 白光共焦三维形貌仪在表面工程研究中的应用 王鼎，胡盛，吴勇，李健 (武汉材料保护研究所技术研发中心) [摘要】 白光共焦三维形貌仪是近年来发展起来的在科学研究和工业领域广泛应用的先进表面测量 设备，测量精度高，测量范围大，具有数字化表面形貌功能，作为一种非接触式表面分析方法，为生产和质量控 制的发展和研究提供精密准确的全方位解决方案。本文在大量试验的基础上，介绍白光共焦三雏形貌仪的测 量原理，探讨其在表面工程研究中应用可能性。 [关键词】形貌；粗糙度；陶瓷；金属；聚合物；混凝土；涂层 ofConfocal inResearchofSurface Appficafion ScanningOpticalMicroscope Engineering WANG Jian Ding，HUSheng，WuYong，LI CenterofWuhanResearchInstituteofMaterials (RD Protection，Wuhan430030，China) OWe8 and flur- Abstract：Confocal which scanningopticalmicroscope highprecisiongreatmeasuringrange，numerical andomni- face ineeience and flelda cs,n exact characteristic，wasappliedwidely investigationindustryrecently．Itprovide three·dimensionalsurface this directionalsolutionformanufactureandresearch non．contactanalysistechnique．Inpa- by ofconfoeal Wagintroducedandthe of in per，thenlea91．1l℃principiumscanningopticalmicroscope possibilityapplication researchofsurface Wfl8discussedbasedonabundant engineering experimentation． Key words：topography；surface O前言 工作原理的基础上，列举若干与表面工程研究有关的 应用实例，探讨白光共焦三维轮廓仪在表面工程研究 白光共焦三维形貌仪(也称：自光共焦显微镜)是 中应用可能性。 近年来伴随计算机技术进步和微电子生产需求发展起 来的先进表面测量设备，其强大且友好的计算和软件 1 白光共焦三维轮廓仪的原理 控制功能，使得表面形貌测量不仅速度快、精度高，而 且无损伤。由于测量所获得的数据是完全数字化的， 为使用者应用多种不同的表面数据处理和分析方法通