Sb2Te3+薄膜的性质及光伏应用.pdfVIP

第 12 届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文（CIGS、CdTe 和其它化合物薄膜太阳电池） Sb Te 薄膜的薄膜的性质及光伏性质及光伏应用应用 2 3 薄膜薄膜的的性质及光伏性质及光伏应用应用 唐容喆 唐容喆 胡松柏胡松柏 高静静高静静 李卫李卫 冯良桓冯良桓 张静全张静全 武莉莉武莉莉 黎兵黎兵 曾广根曾广根 王文武王文武 唐容喆唐容喆 胡松柏胡松柏 高静静高静静 李卫李卫 冯良桓冯良桓 张静全张静全 武莉莉武莉莉 黎兵黎兵 曾广根曾广根 王文武王文武 （四川大学材料科学与工程学院，成都，610064 ） 摘要：摘要：用真空共蒸发法在室温下沉积了 Sb-Te 薄膜，在 N 气氛中进行 573K 退火处理。用 摘要摘要：： 2 XRD 分析了薄膜的结构，用 XRF 和 XPS 分析了薄膜的组成。结果表明制备出了符合化学 配比的 Sb Te 薄膜。然后，将 Sb Te 薄膜用作 CdTe 太阳电池的背接触层，在不同温度下进 2 3 2 3 2 行了快速退火处理，获得了效率为 12.34% (Voc=805.9mV，Jsc=25.1mA/cm ，FF=0.61) 的小 面积太阳电池。 关键词：关键词：Sb Te 薄膜；共蒸发；CdTe 太阳电池；背接触 关键词关键词：： 2 3 1. 引言引言 引言引言 用作CdTe/CdS 薄膜太阳电池背接触对CdTe 近年来，由于其低成本、高效率， 太阳电池性能的影响。 CdTe/CdS 薄膜太阳电池被广泛关注及研究 2. 实验实验 实验实验 [1-2] 。迄今为止，其最高效率纪录维持在 样品是用本实验室自主设计的真空共蒸 16.5%[3]。由于 CdTe 薄膜因自补偿作用不 -4 发系统在真空度为 6 ×10 Pa 条件下沉积在 易实现 P 型的高掺杂， 且其功函数较高， 普通钠钙玻璃上。分别将纯度均为 5N 的Te 这使得它难于同金属形成良好的低欧姆接 粉和 Sb 块装入独立的石英舟和钨舟，用两 触。在 CdTe 层与金属背电极之间加一层过 台 LHC-2 膜厚监控仪对两个蒸发源各自进 渡层−−−−−背接触层就能有效解决这个问题 行薄膜厚度和沉积速率的在线监控.。 [4]。为了提高电池转换效率，曾经用过多种 薄膜的实际厚度用 Ambio XP-2 台阶仪 金属做过背接触，如 Cu，Hg，Pb ，Au 等[5-9]， 测量。样品组成用日本 Rigaku 公司生产的 但这些金属会在各层之间扩散，反而降低器 ZSX Primus II X 射线荧光仪进行测试。刚沉 件性能。N. Romeo 等人研究发现了一种稳 积的样品在 N2 气氛下进行 573K 退火。样品 定的新型背接触（不含 Cu 等会扩散进入 的 X 射线衍射测试在辽宁丹东射线集团有 CdTe 层的元素）Sb Te [10]。其禁带宽度约 限公司生产的 DX-1000X 射线衍射仪上进 2 3 -4 为 0.3eV，电阻低至 10 Ωcm 。P.Arun