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扫描电子显微镜在耐火材料检测分析应用.pdf

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第“#增“ 厂f_蔓毒斧jI|} 扫描电子显微镜在耐火材料检测分析中的应用 王丽娜王健东杨晓峰王春艳 辽宁青花耐火材料研究院辽宁太5桥115100 摘要简连7扫描电子显微键的i作原理厦特£。介绍T耐火材料样品的制备过程和分析方法。从3十方 面阐述7扫描电子显撒镜在耐戈材料拴洲分析中的应用 实践表明,使用扫描电干里微电镜分析耐火材料^ 客丰富、方击直观。扫描电于显微境与能谱仪的配夸使月,进一步提高7检测分析水平 关键谪扫描电子显蚀镜,耐火材抖.检刹分析 耐火材料对钢铁、水泥、玻璃、有色、石油化T等 牛产的QuantaIn,peel扣描电子镀微镜获得,能1蒋数 工业的发展起着至关重要的作用。在高温1=业的发 据利矸1牛津公司难产的能谱仪获得= 展和技术进步的促进F,我翻耐火材料丁业迅速发 展,耐火材料产量已多年居世界第一,但耐火材料产 2耐火材料的检测分析 业整体的技术水平和产品结构等方面与国际先进水 2 I光片分析 平相比差距较大。为了进一步提高耐火材料的榆测 光片样品的制备过程:切取所:蓠样品烘十后,配 和研发水平,引人高科技的检测分析手段对耐火材料 制同化荆,将样品放人固化剂中.烘下固化后沿样品 的分析将起到越来越重要的作用。 表面切除硬化的罔化荆.围化是为r防止样品枰磨 制的过程中颗粒和基质部分流失。在玻璃扳上加人 碳化硼与水孵制样品表面样品制好烘下后,在离子 1 扫描电子显微镜的原理及特点 溅射仪中喷涂导IU膜。 扫描电子显微镜作为一种有被的显微结掏分析 对样品进行光片分析.可形象直观地了解样品的 丁县,可以对各种材料进行多种肜式的观察与分析, 彤貌特点,气孔的分布情况等显微结构信包如果足 具有分辨率高,景深长、成像富有立体感等优点,利 侵蚀后的样品可进一步了解侵蚀晰况和侵蚀罐度等 用扫描电镜分析显微结构,其内容丰富、方法直观1。 相关信息,观“碱性耐火材料最基本的砸料电熔镬 扫描电子显徽镜的工作娘理为:由热艄掇电子枪 砂为例,|兑明扫描电镜在原料分析中的应用。电熔镁 发射出的电子在电场作用下加速.经过2个或3个电 砂的硅微结构图片虬圈I.可“看到,方镁打的晶体 磁透镜的作用,在样品表面聚集成为极细的电子柬。 该电子束在束透镜上方的双偏转线圈作用下.在样品 表面扫描。被加速的电子束与样品室中的样品相互 作用,激发样品产,丰出各种物理信号.其强度随样品 表面特征而变。样品表而不同的特征信号,被按顺 序、成比例地转换为视频信号。通过对其中某种物理 信号的榆测、视频放大和信号处理.调制阴极射线管 的电子束强度,从而在荧光屏上获得反映样品表面特 征的_Irl描罔像”1。扫描电镜的戚像原理就是以lU于 岛碗■穗旺孺嚼舞爵硐E==臣丑墨置 柬作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 国1电培镁础的R微结构 A式照射到试样上,产牛各种与试样性质有关的信 包,然后加以收集和处理从而获得徽现形貌放太像。 本文中耐火材料的显微结构图片利用FEI公司 395 2010/增:F4J耐火材料/K刑岍响Es CAILIAO 耐太材抖/NAIHUO

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