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扫描电子显微镜在耐火材料检测分析中的应用
王丽娜王健东杨晓峰王春艳
辽宁青花耐火材料研究院辽宁太5桥115100
摘要简连7扫描电子显微键的i作原理厦特£。介绍T耐火材料样品的制备过程和分析方法。从3十方
面阐述7扫描电子显撒镜在耐戈材料拴洲分析中的应用 实践表明,使用扫描电干里微电镜分析耐火材料^
客丰富、方击直观。扫描电于显微境与能谱仪的配夸使月,进一步提高7检测分析水平
关键谪扫描电子显蚀镜,耐火材抖.检刹分析
耐火材料对钢铁、水泥、玻璃、有色、石油化T等 牛产的QuantaIn,peel扣描电子镀微镜获得,能1蒋数
工业的发展起着至关重要的作用。在高温1=业的发 据利矸1牛津公司难产的能谱仪获得=
展和技术进步的促进F,我翻耐火材料丁业迅速发
展,耐火材料产量已多年居世界第一,但耐火材料产 2耐火材料的检测分析
业整体的技术水平和产品结构等方面与国际先进水 2 I光片分析
平相比差距较大。为了进一步提高耐火材料的榆测 光片样品的制备过程:切取所:蓠样品烘十后,配
和研发水平,引人高科技的检测分析手段对耐火材料 制同化荆,将样品放人固化剂中.烘下固化后沿样品
的分析将起到越来越重要的作用。 表面切除硬化的罔化荆.围化是为r防止样品枰磨
制的过程中颗粒和基质部分流失。在玻璃扳上加人
碳化硼与水孵制样品表面样品制好烘下后,在离子
1 扫描电子显微镜的原理及特点
溅射仪中喷涂导IU膜。
扫描电子显微镜作为一种有被的显微结掏分析
对样品进行光片分析.可形象直观地了解样品的
丁县,可以对各种材料进行多种肜式的观察与分析,
彤貌特点,气孔的分布情况等显微结构信包如果足
具有分辨率高,景深长、成像富有立体感等优点,利
侵蚀后的样品可进一步了解侵蚀晰况和侵蚀罐度等
用扫描电镜分析显微结构,其内容丰富、方法直观1。
相关信息,观“碱性耐火材料最基本的砸料电熔镬
扫描电子显徽镜的工作娘理为:由热艄掇电子枪
砂为例,|兑明扫描电镜在原料分析中的应用。电熔镁
发射出的电子在电场作用下加速.经过2个或3个电
砂的硅微结构图片虬圈I.可“看到,方镁打的晶体
磁透镜的作用,在样品表面聚集成为极细的电子柬。
该电子束在束透镜上方的双偏转线圈作用下.在样品
表面扫描。被加速的电子束与样品室中的样品相互
作用,激发样品产,丰出各种物理信号.其强度随样品
表面特征而变。样品表而不同的特征信号,被按顺
序、成比例地转换为视频信号。通过对其中某种物理
信号的榆测、视频放大和信号处理.调制阴极射线管
的电子束强度,从而在荧光屏上获得反映样品表面特
征的_Irl描罔像”1。扫描电镜的戚像原理就是以lU于 岛碗■穗旺孺嚼舞爵硐E==臣丑墨置
柬作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 国1电培镁础的R微结构
A式照射到试样上,产牛各种与试样性质有关的信
包,然后加以收集和处理从而获得徽现形貌放太像。
本文中耐火材料的显微结构图片利用FEI公司
395
2010/增:F4J耐火材料/K刑岍响Es
CAILIAO
耐太材抖/NAIHUO
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