掺铝氧化锌透明导电薄膜生长及光电性质研究.pdfVIP

2014年2月 吉林师范大学学报(自然科学版) No．1 第 1期 JournalofJilinNormalUniversity(NaturalScienceEdition) Feb．2014 掺铝氧化锌透明导电薄膜生长及光 电性质研究 李 宏 (淮北师范大学 物理与电子信息学院，安徽 淮北235000) 摘 要 ：采用磁控溅射在载玻片上制备掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜，并用扫描电子显微镜观察薄膜的表面 形貌，四探针电阻率测试仪测量样品的方块电阻和电阻率，分光光度计测量薄膜透射率．结果表明当功率、温度、 氢气掺杂比为200W、300oC、8％时，制备的AZO薄膜具有最小的方块电阻和电阻率，且在可见光区域 内透射率 均超过 80％． 关键词 ：AZO薄膜；磁控溅射；光电性质；透射率；电阻率 中图分类号：O031 文献标识码 ：A 文章编号：1674．3873．(2014)01-0011-03 0 引言 太阳能电池对透明导电薄膜的首要要求之一是透光性要好 J，只有这