X荧光光谱分析法在镀层厚度测量应用.pdfVIP

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2017-08-09 发布于安徽
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第29卷第4A期计量学报 V01．29．№4A 2008年9月 ACrAM壬了IROLOGICAsINICA X荧光光谱分析法在镀层厚度测量中的应用朱小平，杜华，王蔚晨 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：基于x射线荧光光谱的基础理论，简要分析了能量色散x射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术。通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量，在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下，通过评估测量中各种不确定度来源和大小，总结出校准标准片在总不确定度中起的主导作用，为实际测量应用中提高精度提供理论基础。关键词：计量学；镀层厚度；X荧光光谱分析；能量色散；不确定度中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000．1158(2008)4A．13022—05 of Fluorescence on ApplicationX—ray SpectrometryAnalysis PIatedThicknessMeasurement ZHU Hua，WANGWei—chen Xiao—ping，DU Instituteof (National 100013，China) Metrology，Beijing Abstract：Basedon fluorescence of X—ray spectrometryanalyticaltheory，themeasuringprincipleX—rayenergydispersive andits in thicknessmeasurementis and an spectrometryanalysis applicationplated decryptedanalyzed．Asapplicableexample， thethicknessofa offoilstandardsismeastlred．After factorofthe is group that，eachuncertainty systemmeasuringuncertainty andevaluationwithanonlinearmathematicmodel．Inthe factthatthe ofcabbrationstandard analyzed end，the uncertainty thicknessamore effecttothetotal is aresultitis toreducethe of important concluded，as necessary uncertainty play uncertainty thickness toincrease calibration standard systematicmeasuringaccuracy． thickness；Fluorescence Keywords：Metrology；Plated spectrometryanalysis；Energydispersion；Uncertainty