碳纳米管压阻效应和其应用研究.pdfVIP

王万录 等：碳纳米管压阻效应及其应用研究 2881 碳纳米管压阻效应及其应用研究 王万录，廖克俊，吕建伟，万步勇，张 毅 (重庆大学 应用物理系，重庆 400044) 一步增强压阻效应。 摘 要：利用了三点弯曲法研究了碳纳米管膜压阻效 应。研究中所用的碳纳米管是用化学气相沉积法合成 2 实 验 的。实验结果表明，碘掺杂和未掺杂的碳纳米管膜的 压阻因子在 500 微形变和室温下分别为 350 和 65， 本研究中所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相 超过了单晶硅和多晶硅的压阻因子。同时还发现化学 沉积法合成的。催化剂材料是Fe 和Ni 。用高纯度的 处理还能进一步增强碳纳米管膜的压阻效应。碘掺杂 Fe 和 Ni 制成合金靶，利用射频磁控测射方法在