弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验的研究.pdfVIP

弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究 刘素艳!牛 凯!叶雄英!周兆英 # 清华大学精密仪器系微机械教研室!北京 # !#B $ %’()* -Y ! )’.RQ), G1(.-21.3, H H / I 摘要!研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器%该悬臂梁一端固支!另一端自由翘离基底%在静电力 作用下!悬臂梁粘连的位置和长度会改变!使得执行器的电压 位移特性严重依赖加载历史%研究 了在不同电压加载方式下!悬臂梁粘连点端部位移的变化!以及这种变化对驱动电压的影响%实 验研究了悬臂梁在方波电压下的振动!并设计实验系统测量了吸下和弹起时间% 关键词!弯曲悬臂梁’粘连’吸