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传感器期末复习.ppt
霍尔式传感器的应用 1、霍尔式位移传感器 2、霍尔式压力传感器 压电式传感器 压电效应 正压电效应 在一些离子型晶体的电介质的一定方向上施加机械力F而产生变形(应变)时,就会引起内部正负电荷中心相对转移而产生极化;从而导致其两个相对表面(极化面)上出现符号相反的约束电荷Q,且其端面产生电荷电量Q与施加的力 F 成正比(产生电荷密度σ与应变 T 成正比)。当外力消失,又恢复不带电原状;当外力变向,电荷极性随之而变。这种现象称为正压电效应。 负压电效应 若对晶体电介质施加电场作用时,会引起电介质内部正负电荷中心的相对位移而导致电介质产生变形(应变),且其应变 T与外电场强度E成正比。这种现象称为负(逆)压电效应,或称电致伸缩。 石英晶体的压电效应 当石英晶体受到沿 x 方向的压缩力作用时,在 x 轴的正方向的晶体表面上出现正电荷,在 x 轴的反方向的晶体表面上出现负电荷 。在垂直于 y 轴和 z 轴的晶体表面上不出现电荷。 这种沿 x 轴作用力,而在垂直于此轴晶面上产生电荷的现象,称为晶体的“纵向压电效应”。 ●石英晶体受到沿 x 方向的压缩力作用 ●石英晶体受到沿 y 轴方向的压缩力作用 当石英晶体受到沿 y 轴方向的压缩力Fy作用时,晶体沿 y 方向产生压缩变形,在 x 轴的正方向的晶体表面上出现负电荷。在 x 轴的反方向的晶体表面上出现正电荷。 这种受沿着 y 轴方向压缩力Fy作用,而在垂直于 x 轴晶面上产生(电荷)极化的现象,称为晶体的“横向压电效应”。 ●晶体受到沿 z 轴方向的压缩力作用 当晶体受到沿 z 轴方向的力(压缩力或拉伸力)作用时,因为晶体在 x 方向和 y 方向的变形相同,正负电荷中心始终保持重和,电偶极矩在 x、y方向的分量等于零,所以沿光轴方向施加作用力,石英晶体不会产生压电效应。 如果石英晶体的各个方向受到均等的作用力(如液体压力),石英晶体将保持电中性,此时,石英晶体没有体积均匀变形的压电效应即没有体压电效应。 ●石英晶体的各个方向受到均等的作用力 压电陶瓷的压电效应 原始的压电陶瓷呈电中性,不具有压电性质。 经极化处理后的压电陶瓷 ●无外力作用 无外力作用时,压电陶瓷两个电极上无电压。 ●有外力作用 在陶瓷片上施加一个与极化方向平行的压力 F 时,陶瓷片将产生压缩变形,片内的正、负束缚电荷之间的距离变小(电偶极子间的距离变小、电偶极矩变小),极化强度也变小。 因此,原吸附在电极上的自由电荷,有一部分被释放,而出现放电荷现象; 当压力撤消后,陶瓷片恢复原状(这是一个膨胀过程),片内正、负电荷之间的距离变大,极化强度也变大,因此电极上又吸附一部分自由电荷而出现充电现象。 这种由机械效应转变为电效应或由机械能转变为电能的现象称为压电陶瓷正(顺)压电效应。 ●有外电场作用 在陶瓷片上施加一个与极化方向平行的外电场,如果外电场的方向与陶瓷片极化方向相同时,陶瓷片沿极化方向产生伸长变形。 如果外加电场的方向与陶瓷极化方向相反,则陶瓷片沿极化方向产生缩短变形。 这种由电效应转变为机械效应或由电能转变为机械能的现象,称为压电陶瓷负(逆)压电效应。 压电方程 石英晶体的切片及符号 切型 — 是在晶体坐标中取某种方位的晶体切割 ●IRE 标准规定的符号表示法 切型代号 (取厚度 t 方向) 原始方位 (取初始 t、l 所在面) 石英晶体切型的IRE表示法 1 2 3 4 5 6 7 8 ( x y l t ω) φ / θ/ ψ 厚 长 第 第 第 第 第 第 t l 一 二 三 一 二 三 次 次 次 取向 转轴 逆时针转角度 x z y l ω t 1、石英晶体的压电方程 写成矩阵形式: 简写成: 式中: σ是在 x、y、z 轴面上产生的总电荷密度 石英晶片在任意的多方向的应力同时作用下的全压电公式为: 式中: i=1,2,3 j=1,2,3,4,5,6 x y z T1 T2 T6 T5 T4 T3 T1 T2 T6 T5 T4 T3 x y z σ= dT 石英晶体的压电方程和压电常数 ①晶体受到应力 T1 作用 当晶体受到应力 T1作用时,晶体在 x、y、z 三个方向上产生压缩变形(应变) ● y、z方向的变形,电偶极矩和为零,无压电效应。 ●当晶体受到应力 T1作用时,晶体的压电常数为: d11≠0,d21=d31=0 ● x方向的变形(应变)使其正、负离子的相对位置发生变化,正、负电荷的中心不再重合,因此,在 x 方向上产生压电效应。 ②晶体受
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