衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响.pdfVIP

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2017-08-08 发布于重庆
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衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响.pdf

江锡顺等 :衬底温度对 Zn S 薄膜微结构和应力的影响 1121 衬底温度对 Zn S 薄膜微结构和应力的影响江锡顺 ,曹春斌 ,蔡　琪 ,宋学萍 ,孙兆奇 (安徽大学物理与材料科学学院 ,安徽合肥 230039) 摘　要 : 　采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底测量分析 Zn S 薄膜的微结构。XRD 的 X 光管为 Cu α 上制备了厚度为 320nm 的 Zn S 薄膜 ,用 XRD 和光学靶 ,Cu K 射线波长为 0 . 154056nm 。管压为 40kV ,管相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应流为 100mA ,扫描方式为连续扫描 ,步宽为 0 . 020°,扫力。结果表明:不同温度衬底上沉积的 Zn S 薄膜均呈描速度为 8 . 000°/ min 。测量衍射峰的半高宽 , 根据多晶状态 ,衬底温度由50 ℃上升到 400 ℃的过程中 ,其 Scher rer 公式可算出晶粒尺寸 : 择优取向发生了变化 , 晶粒有明显的生长方向; Zn S 薄 kλ ( ) D = 1 膜应力随着衬底温度升高逐渐减小 ,衬底温度在 250 B co sθ λ θ ～350 ℃之间的 Zn S 薄膜应力较小且在选区内分布比　　式中 k = 0 . 9 , = 0 . 154056nm , 为Bragg 角 ,B 是较均匀。衍射峰的半高宽 ,可计算出晶粒大小。再利用布拉格关键词 : 　Zn S 薄膜 ;衬底温度 ;微结构 ;应力方程 : θ λ ( ) 中图分类号 : 　O484 文献标识码 :A 2 dsin = 2 ( ) a 文章编号 :100 1973 1 2006 07112 103 ( ) 　　和 : 　　　　　 d =