- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
与硅平面工艺兼容的p~-p~+型多孔硅的发光特性研究.pdf
第 19 卷第 11 期 半 导 体 学 报 . 19, . 11
V o l N o
1998 年 11 月 . , 1998
CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S N ov
与硅平面工艺兼容的 - + 型
p p
多孔硅的发光特性研究
孙 鲁 张树霖
(北京大学物理系 北京 100871)
张 录 关旭东 韩汝琦
(北京大学微电子所 北京 100871)
- +
摘要 型多孔硅电致发光器件对实现硅基光电子集成具有重要的意义, 我们通过改变
p p
- +
样品衬底的离子注入浓度和阳极氧化条件, 在 型单晶硅衬底上生长了不同的多孔硅样
p p
品后, 在纯氧和稀氧氛围下对样品进行了 800℃高温退火处理. 通过测量样品的光致发光谱,
- +
研究了样品衬底离子注入浓度, 阳极氧化条件及后处理条件等对 型多孔硅样品发光的
p p
影响, 为研制与硅平面工艺兼容的多孔硅发光器件, 提供了重要的参考设计参数和进一步改进
工艺的依据.
PACC: 7320, 8265, 7855
[ 1 ]
1990 年, 英国科学家 Canham 关于多孔硅可在室温下发强烈可见光的发现 , 为实现
硅基光电子集成注入了希望. 实现硅基光电子集成, 关键的一步便是用多孔硅制成与硅平面
工艺兼容的高发光效率的电致发光器件. 为此, 一方面要使多孔硅具有合理的结构, 能够高
效地为发光层注入载流子, 并发射可见光; 另一方面, 要求多孔硅耐高温处理, 以期与硅平面
- +
工艺兼容. 国外研究者在初步解决多孔硅耐高温处理的基础上, 把在 型基片上制成的
您可能关注的文档
- 不同消费档次对体育旅游产品开发的影响研究.pdf
- 不同液体复苏对失血性休克大鼠血浆TNF-α、IL-1及IL-6的影响.pdf
- 不同激素配比对茶树苗组织培养的影响.pdf
- 不同炮制工艺对大黄中蒽醌成分含量的影响.pdf
- 不同特点头痛的分法论治.pdf
- 不同环境下混凝土动态抗压特性试验研究.pdf
- 不同生态环境下2009年江西省主栽早稻品种稻瘟病的发生.pdf
- 不同生育期水分胁迫对水稻根系活力_叶片水势和保护酶活性的影响.pdf
- 不同生长阶段青枯菌的高效离子交换色谱表征.pdf
- 不同用药救治有机磷中毒的疗效.pdf
- 浙江省临海市白云高级中学2025届高三历史3月月考试题.doc
- 云南拾谷县第一中学2024_2025学年高二物理上学期10月月考试题.doc
- 2025版高考生物总复习第13讲基因的分离定律教案苏教版.doc
- 湖北省黄石实验高中2024_2025学年高一历史下学期期末考试模拟卷.doc
- 通史版2025版高考历史大一轮复习专题七近代化的曲折发展__中日甲午战争至五四运动前4第4讲从维新思想到新文化运动课后达标检测含解析新人教版.doc
- 2024年高考数学考试大纲解读专题04导数及其应用含解析文.doc
- 河南省许汝平九校联盟2024_2025学年高一语文上学期期末考试试题扫描版无答案.doc
- 江西省吉安市吉水县第二中学2024_2025学年高一历史上学期第二次月考试题.doc
- 北京市平谷区2025届高三政治一模考试试题含解析.doc
- 2025届中考物理第四讲物态变化专项复习测试无答案新人教版.docx
文档评论(0)