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酸 腐 多 晶硅 太 阳 电池 表 面 织 构 的研 究
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摘 要 ：多 晶硅 太 阳 电池 是 目前光伏发展 的主 要 趋 势 ， 而 缺 乏 有 效 的表 面 织 构 的方 法 是 多 晶硅 太 阳 电池 发 展 的 个 瓶 颈 。
采 用 酸 腐 多 晶硅 片 的方 法 获得 各 向同性 的表面 织 构 。 酸腐蚀 液选 取 H F — H N O 。 混 合 溶液并用 H O 进 行 改 良。 分 别 利
2s 。
S E M 应 系统 分 析 了腐 蚀 后 晶硅 的表 面 形 貌 和 反 射 率 结 果 表 明 酸 腐 晶硅 表 面 分 均
用 扫 描 电镜 ( )和 光谱 响 多 片 。 。 多 布 匀
的蠕 虫状腐 蚀 坑 ， 反 射 率 很 低 ， 在 P E C V D S iN ， 减 反 射 膜 后反 射 率 大 大 下 降。
词 ： 面 织 构 硅 太 阳 电池
关键 表 多 晶
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